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扫描电镜背散射电子(BSE)应用、成像探测器类型及特点
北京驰奔仪器有限公司,是专业扫描电镜SEM系统销售及服务商,是进口Genesis系列小型立式扫描电镜中国独家代理。在北京设立小型立式扫描电镜演示及服务中心,为客户提供周到技术支持和服务 背散射电子成像在扫描电镜应用中非常普遍。入射电子和样品中一个或多个原子核碰撞,能量损失很小改变入射电子运动方向(弹性散射)并从样品表面出射的入射电子称为背散射电子。背散射电子信号携带样品平均原子序数信息、样品表面形貌信息、晶体结构取向信息, 背散射电子成像的典型特色是提供样品表面或样品内部不同原子序数部位的亮暗对比反差。
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2015/02/16
扫描电镜半导体固体背散射电子探测器形貌(TOPO)模式的假象
北京驰奔仪器有限公司,是专业扫描电镜SEM系统销售及服务商,是进口Genesis系列小型立式扫描电镜中国独家代理。在北京设立小型立式扫描电镜演示及服务中心,为客户提供周到技术支持和服务 半导体探测器晶体常常是环形对称,信号及探测器系统分析表明,一体的探测晶体倾向于消除形貌反差,增强成分Z反差,这也是背散射探测器最大的使用价值。最早的研究者经过理论分析,认为将探测器晶体进行分割然后对称的探测信号进行代数运算,可消除成分Z反差,突出形貌反差, 各种实验研究表明,确实如此,但通过信号重构样品形貌也存在一些人工假象,需要特别注意。
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2015/02/16
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