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扫描电镜半导体固体背散射电子探测器形貌(TOPO)模式的假象

2015-02-16 21:13

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北京驰奔仪器有限公司,是专业扫描电镜SEM系统销售及服务商,是进口Genesis系列小型立式扫描电镜中国独家代理。在北京设立小型立式扫描电镜演示及服务中心,为客户提供周到技术支持和服务 半导体探测器晶体常常是环形对称,信号及探测器系统分析表明,一体的探测晶体倾向于消除形貌反差,增强成分Z反差,这也是背散射探测器最大的使用价值。最早的研究者经过理论分析,认为将探测器晶体进行分割然后对称的探测信号进行代数运算,可消除成分Z反差,突出形貌反差, 各种实验研究表明,确实如此,但通过信号重构样品形貌也存在一些人工假象,需要特别注意。
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