HORIBA 有害元素X射线荧光分析仪（XGT-5200WR）

概要
         400μm的X射线光斑，为有害元素的控制提供了高分辨率的扫描分析，适合小到IC集成块单一引脚的分析。同时提供世界最小光斑—10μm （可选配件）。

         SDD检测器极大地提高了分辨率和计数率，且无需使用液氮（LN2）

         无需任何样品制备或真空--样品仅需要放置在样品室中，即可在正常大气压力下分析。完全整合的软件可控制样品的移动，获取数据分析（包括定性和定量分析，并生成成分组成图像）。将样品放在样品祥中后，只需几秒钟，借助直观的“point and click”选择分析位置，即开始抓取数据。

         样品观察采用同轴几何呈象，可消除视差，您可以绝对相信，看到的样品即是测量的位置。

         仪器装载了两个X射线管，从而使用户能够简单地切换显微和宏观光束，可适用于一系列实验。这些光管传递的高强度光斑确保了最低的数据获取时间。而光管的单毛细管设计非常适合高强度的元素成像，甚至对于不平整样品同样有效。

         通过自动采样扫描很容易获得XRF面扫描图像，样品下方的第二次信号检测能同时收集X射线透射图像。这项技术可提供额外的结构信息，极有利于对兴趣区域的定位，或了解样本的内部结构。

特征

*世界最小光斑 10μm

*高分辨率光斑 400μm

*SDD检测器，无需液氮

*同时显示x射线荧光元素分布和透射图

*膜厚测量、多点分析、EXCEL数据管理软件

*适用于RoHS/ELV/无卤法规的分析

*一台仪器进行多种分析

*有害元素的扫描分析

*样品位置的简单准确控制

*适用于微观尺寸至宏观尺寸的宽范围样品分析

*XGT可解决各种分析问题和困难

規格

型号：

    XGT-5200WR

原理：

    能量色散型X射线荧光光谱分析法

检测元素：

    Na～U(试样在大气中)

样品形态：

    塑料、金属、纸、涂料和油漆等的液体(液体试样容器为可选项)，生物样品

样品室环境：

    大气

X射线光斑：

    10μm，50μm，100μm，400μm，1.2mm,3mm

X射线管：

    50kV/1mA, 铑（Rh）靶材

一次X射线滤光片：

    ?1,2mm: 5元素滤光片(Cd/Pb/Cr/Hg/Br) 

    ?1,2mm(可选): 多重滤光片及 4 元素滤光片(Cd/Cr,Cl/5元素/不带滤光片r) 

    ?100μm:无滤光片

    ?10μm: 无滤光片

检测器：

    SDD硅漂移检测器

样品台：

    100mm×100mm(面扫描最大尺寸),

    200mm×200mm(可选)

样品室：

    400×350×40mm(可定制特殊尺寸)

光学成像：

    整体图像: 100mm×100mm (标准:400,000象素, 可选: 2百万象素)

    细节图像:同轴100倍放大

分析方法：

    定性: 自动定性功能,背景显示, ROI 颜色分辨, 匹配功能

    定量: FPM, 校准曲线, 有害元素 (Cl补偿,厚度补偿，电线补偿)

    测量导航: 条件设置, 定量分析l

数据管理(可选)：

    Excel® 数据管理软件,检测报告输出

电源：

    AC100, 120, 220, 240V  50/60Hz

重量：

    约 280kg

外形尺寸：

    680(W)833(D)670(H)mm