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ATAGO爱拓多波长阿贝折光仪 DR-M4 应用于半导体光刻胶折射率检测
2023/07/03 14:11
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方案摘要：
产品配置单：
镜片折射率||阿贝折光仪厂家|多波长阿贝折光仪|
型号： DR-M2
产地： 日本
品牌：
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方案详情：
光刻胶是集成电路制造的重要材料：光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、成品率及可靠性的关键因素。光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的35%，并且耗费时间约占整个芯片工艺的40%~50%。光刻胶材料约占IC制造材料总成本的4%，市场巨大。因此光刻胶是半导体集成电路制造的核心材料。
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