痕量气体在线分析仪 GA-370 堀场

概要

实现对高纯度气体连续监测，主要应用于空分和半导体行业。

实现对高纯度气体中的痕量杂质气体 (CO, CO₂ 和 CH₄) 的感度连续测量。

特征

感度分析

• 采用交替流动调制方式的非分光红外吸收原理可以实现无零点漂移的长期安定的连续测量。

• 小检出限可达10ppb，尤其适合追求高精度的现场测量。

• 使高纯气体中的痕量气体检测成为可能。典型平衡气气体N₂，O₂，He，Ar，H₂和空气。

操作简单，无需维护

• 使用时无需任何特使操作，校正和测量等全部操作均可在显示画面上进行。

• 采用HORIBA的专利技术-交替流动调制方式，无需光学调整，无需维护。

• 彩色液晶显示屏，触摸操作可以显示彩色趋势图，有更好的可视性 。

典型应用

一般情况下，作为工业用气体使用的氧气，氮气是通过空气分离来制造的。

首先将除去水分和CO₂的原料空气通入分离装置，分离装置时利用氮气、氩气和氧气三者气体的沸点不同进行分离出不同气体。

氢气和氦气也是利用类似的气体分离装置制备。

GA-370测量实例。高纯度氮气、氩气、氧气制造行业痕量气体的测定。

除去水分、CO₂后原料气体中痕量气体的测量。

测量原理

交替流动调制方式双光路非分光红外吸收原理

GA-370用一束红外光透过检测室射入检测器，测量过程中通过切换电磁阀将采用气体和参比气体切换通入检测室。

测量样气和参比气体使用相同的气体（例如零点气体）时，无法产生调制信号，因此不会产生漂移，解决了 痕量气体分析中的零点漂移宜问题。

而且使用双光路检测气室，以相反的相位导入测量样气和参比气体，可实现了长期安定稳定运行，无需光学调整。

气体流程图

规格

* 注 1) 参比气体和量程气由用户提供，气瓶的精度需满足测试要求。
* 注 2) GA-370 痕量气体分析仪在特殊场合下并不安全。例如，在含H2的环境中使用时需配合防爆小屋以避免爆炸。