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近距离蒸发镀膜 ( CSS)炉

品牌: 合肥科晶
产地: 安徽
型号: OTF-1200X-RTP-II
报价: ¥5万 - 10万
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核心参数

仪器种类: 管式炉

最高温度: 0

控温精度: 0

最大功率: 0

升温速度(达到最高温): 0

加热方式: 0

内部尺寸: 0

产品介绍

OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉,专门针对于用PVDCSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD,炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20oC/S 。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1oC。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出.
 

技术参数

真空腔体

  • 腔体为一高纯石英管

  • 尺寸:  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

真空法兰

  • 真空法兰材质为316不锈钢制作

  • 顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口

  • 底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口

  • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,通过真空度可达10-2 torr两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动

  • 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可精确测量腔体内真空度

                          (点击图片查看详细资料)

混气系统

可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用(本公司生产多路浮子和多路质子混气系统)
        
       

加热元件和载样台

  • 由两组IR红外灯管进行加热

  • 额定功率800 W     总功率:1600W 

  • 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上

  • 一个3"的基片载样台安装腔体顶部

  • 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片(3"Dia x0.5mm Thick ),使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀

  • 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料 
        


热电偶

 

 

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

温控系统

  • 两个控温系统都为PID30段程序化控温

  • 可以选购PC控温软件,将温度程序设置和温度曲线导入电脑中

                   

工作温度

  • 两个加热区域单独工作的最高温度:      <= 650oC

  • 两个加热区域最大温差:  <= 350 oC

加热和冷却速率

  • 加热速率:   > 8  oC /S

  • 冷却速率:   > 10  oC /S  ( 600 - 100oC)

电源

208 - 240VAC, 单相(需20A的空气开关)

可选配件

 本公司出售真空泵和水冷系统

                

质保期       

一年质保期 终身维护 (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )

质量认证

  CE 


问商家

合肥科晶马弗炉OTF-1200X-RTP-II的工作原理介绍

马弗炉OTF-1200X-RTP-II的使用方法?

合肥科晶OTF-1200X-RTP-II多少钱一台?

马弗炉OTF-1200X-RTP-II可以检测什么?

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合肥科晶OTF-1200X-RTP-II的说明书有吗?

合肥科晶马弗炉OTF-1200X-RTP-II的操作规程有吗?

合肥科晶马弗炉OTF-1200X-RTP-II报价含票含运吗?

合肥科晶OTF-1200X-RTP-II有现货吗?

工商信息

企业名称

合肥科晶材料技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(中外合资)

信用代码

913401001490220724

成立日期

1997-06-19

注册资本

伍佰零肆万玖仟壹佰美元整

经营范围

材料制造、销售;科学仪器设备的生产、研发、销售及技术咨询;实验、测试及实验器械的租赁服务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

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合肥科晶材料技术有限公司为您提供合肥科晶近距离蒸发镀膜 ( CSS)炉OTF-1200X-RTP-II,合肥科晶OTF-1200X-RTP-II产地为安徽,属于马弗炉、电阻炉、实验炉,除了近距离蒸发镀膜 ( CSS)炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多马弗炉、电阻炉、实验炉,合肥科晶客服电话400-860-5168转2205,售前、售后均可联系。

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