核心参数
仪器种类: 管式炉
最高温度: 1200℃
控温精度: ±1℃
最大功率: 3KW
升温速度(达到最高温): 10℃
加热方式: 电阻丝
内部尺寸: 外径: 50 ×内径: 44 ×长: 1000 mm
为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD), 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。
技术参数
实验机理 |
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产品特点 |
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开启式管式炉 |
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等离子射频电源 |
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真空泵和阀门 |
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质量流量计 |
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细节图展示 | |
外形尺寸 |
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质保期 | 一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件 |
质量认证 |
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国家专利 | 专利名称:可组合式等离子增强化学气相沉积装置 专利编号:ZL-2011-2-0355777.1 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 |
使用注意事项: |
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企业名称
合肥科晶材料技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(中外合资)
信用代码
913401001490220724
成立日期
1997-06-19
注册资本
伍佰零肆万玖仟壹佰美元整
经营范围
材料制造、销售;科学仪器设备的生产、研发、销售及技术咨询;实验、测试及实验器械的租赁服务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
合肥科晶材料技术有限公司
公司地址
安徽省合肥市科学院路10号
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