磨刀不误砍柴工-维护保养对电镜效果的影响

嘉德利达

2022/11/22 13:44

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磨刀不误砍柴工-维护保养对电镜效果的影响

要把扫描电镜使用好，日常的保养和维护非常重要。通过维护保养，还能够发现扫描电镜潜在问题，能够及时修正和解决问题，避免事态扩大，减少损失。

近日，中科院半导体所老师反馈，他们TM3030台式扫描电镜的拍摄效果不如先前了，客户这台电镜已经使用8年了，我们接到通知后第一时间安排技术人员上门检查并成功解决问题。

图1 TM3030

问题描述

对焦效果差，图像不清晰

问题原因

由于韦氏帽脏污灯丝使用时间长，亮度降低，像散加大，导致拍摄效果明显下降

解决办法

取下灯丝垫片或更换灯丝；

清洗韦氏帽、阳极、物镜光阑；

真空系统维护等。

取下灯丝垫片或更换灯丝时可观察韦氏帽是否需要清理，如果为图2左图状态则需要清理韦氏帽，用纤维纸或棉签蘸取抛光膏进行擦拭，擦拭后的韦氏帽放入烧杯中，倒入酒精，使韦氏帽完全浸入在酒精中，需做两次超声，每次10分钟左右，超声后的韦氏帽放在干净的纸上或者锡箔纸上自然风干，也可用吹风机吹干。如果阳极孔周围变脏，也需要进行清洁。可以逆时针旋转将阳极板拧下清洁，清洁方法同韦氏帽。图1右图为擦拭后的韦氏帽。

图2 韦氏帽清洗前后对比效果

维护后的效果展示（如图3）

维护前，虽然铜网表面纹理比较明显，但图像有像散，导致成像效果差；

维护后，铜网表面细节呈现的更好，消除了像散带来的影响，图像更清晰

图3 TM3030 维护前后拍摄效果，样品为标准铜网

注意事项

①韦氏帽和阳极不能直接在仪器上进行清洁工作；

②清洁工具最好用纤维纸蘸取抛光膏进行擦拭，棉签可能会残留棉絮；

③清洁阴极孔时不要大力擦拭，针对顽固污渍可以多擦拭几次；

④韦氏帽侧面的各个孔也需要清洁；

⑤用来暂存韦氏帽的包装尽量用锡箔纸包裹完整后再放入自封袋，不能使用不干净的自封袋；

⑥换完灯丝后，先抽真空再拧紧内六角螺丝。

经过上述一系列的维护和调试，老师做了维护后标准铜网电镜拍摄效果与当初安装时标样效果对比，基本上看不出差异。老师也对日立电镜的品质大加赞赏，TM3030虽然已经使用8年，经过维护处理后就可以焕然一新。

TM3030作为一台日立公司十年前的台式电镜，目前已升级换代，型号为TM4000 II（如图4），新产品在原来基础上增加了10kv加速电压、SE探测器和三种观察模式，每个加速电压下有4种束流可供选择，自动对焦、自动消像散、自动明/暗对比度的调节也更智能、反应更迅速，最大放大倍率也有所提升，不仅性能上有所提升，效率也大大提高了。