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倒置微光显微镜iPHEMOS系列
该仪器设计紧凑，高度仅为80cm，因此可与多种测试机方便地对接。其配备的高灵敏度InGaAs相机以及多种激光选配件扩大了其动态分析的范围。
特性
高精度级的多相机平台
灵活的系统设计
多种探测器，可观测低压工作IC
倍率从1×到100×，多种镜头可选（可选配10镜头转台）
背面观测探针可测量从整个300mm晶片到单个die的范围
简化了测试机头对接，便于动态分析
用户友好型操作系统
易于升级，有利于后期应用
高分辨率模板图像
选配
高分辨率、高灵敏度观测用纳米透镜
使用纳米透镜可增加数值孔径，显著提高分辨率和光采集效率。这样可以减少探测时间，却可以提供更好的分辨率。
红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析功能
极受欢迎的红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析功能可作为选配增加到仪器中，来探测漏电流或静态电流缺陷（leakage or IDDQ defects）等的线缺陷
使用数字lock-in组件，可提高IR-OBIRCH分析的探测功能
软件提供的数字lock-in功能即使是很短的图像采集时间，也可以保证获得比模拟lock-in更清晰和锐利的图像。
激光辐射的动态分析功能
使用激光束照射，来观测器件工作中的状态变化（通过或者失败），以分析功能缺陷
序列测量软件
通过使用者执行一套流程，该功能可自动进行微光/IR-OBIRCH观测。连接半自动探针后，微光/IR-OBIRCH图像可按照序列测量并保存。连接大规模集成电路测试机或者外部电源也可以进行测量。
EO探针单元C12323-01
EO探针单元是一款工具，通过使用非连续光源，透过硅基底来观察晶体管状态。
配置
参数
| 产品名称 | iPHEMOS-SD |
|---|---|
| 尺寸/重量*1 | 主单元：805 mm (W)×915 mm (D)×1180 (775*2) mm (H), Approx. 500 kg*2 控制台：880 mm (W)×1000 mm (D)×1775 mm (H), Approx. 200 kg |
*1：重量因配置不同而改变。
*2：高度等于iPHEMOS-SD上样品边缘的高度。
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企业名称
滨松光子学商贸（中国）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110000450180837
成立日期
2011-08-01
注册资本
0
经营范围
批发、零售II类医疗器械、计算机、软硬件及辅助设备;光电子相关产品、半导体相关产品、光技术应用装置、X线技术应用装置、生物制品(未经专项审批的项目除外)以及上述产品相关部件、软件、配件的批发、佣金代理(拍卖除外)、货物进出口(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);售后服务;技术咨询;软件开发;技术开发、技术转让、技术服务;租赁仪器仪表;批发、零售第III类医疗器械。(批发、零售第III类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
滨松光子学商贸（中国）有限公司
公司地址
北京市朝阳区东三环北路27号嘉铭中心B座1201室
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