纳米力学测试系统

Nano Indenter G300 配备支持试样直径最大为12英寸的样品台,可对各种不同尺寸晶圆片直接进行力学性能检测，不需要破坏晶圆片就可以获得上面任意位置的力学性能，整个实验过程全自动控制，避免了可能的人为因素的影响，确保每个测试都是合理、一致、精确。

创新技术和优势

• 传感器的精度高，稳定性和重复性好，人性化的界面设计，使用方便。
• 多种加载模式：恒载荷速率、恒位移速率、恒应变速率以及阶梯加载。
• Agilent专利技术--连续刚度测量，基底效应难题迎刃而解。
• 机械部分全新的设计，Ｘ-Ｙ方向的运动范围：２００Ｘ２００mm。
• 电控部分采用了全新的第三代技术，仪器的稳定性更高，实现了更高速的数据采集和传递，并且做到数据的实时
处理和显示，包括硬度和弹性模量在压入过程中的实时显示。
• 高级Ｘ-Ｙ运动系统，采用了纳米运动马达和 linear encoders等, 样品台移动快，并且定位更准确，试样高度实现了原位调节。
• 内置LED光源，并且实现了软件对显微镜光源的控制，使得试样表面的图像观察更加方便，图像质量更加清晰。
• 超高精度的金刚石压头，新的Berkovich压头顶端曲率半径20nm。
• 压入过程中的热漂移效应全自动扣除，测量结果更加真实、可靠。
• 内置温度测量。
• 载荷范围自动识别。
• 完全符合ISO-14577（国际标准），GB/T22458—2008 （中国国标）。
• Keysight在国内有8家分公司,28个维修站，2个工厂。
• 国内高水平的专业人员和国际顶尖科学家的技术支持。

Nano Indenter 的主要指标

G300
位移能力
位移测量方式 电容位移传感器
压头总的位移范围 ≥1.5mm
最大压痕深度 >500um
位移分辨率 <0.01nm
载荷能力
加载模式 电磁力
最大载荷（标配） >500mN
载荷分辨率 50nN
高载荷选件 10N /50nN
DCM压痕选件 10mN/1nN
框架刚度 &ge;5x10⁶N/m
样品台
有效使用面积 225mmX300mm
定位精度 1um
定位控制模式 全自动遥控
光学显微镜
总的放大倍率 250倍和1000倍
物镜镜头 10X 和40X