仪器简介:
ETD-2000型离子溅射仪,采用真空自动控制和真空保护电路,使操作和应用更加安全可靠。为扩大应用领域,可同时手动调整溅射仪的电离电流或手动调整其真空微调针阀,改变电离室的压强,获得最佳的喷镀效果。独特的真空橡胶压边密封结构,保证长期使用不会使钟罩边缘出现毛边而影响真空室中的真空度,陶瓷密封高压插头经久耐用。
技术参数:
技术规格:
1. 仪器整体尺寸:长:300mm; 宽:360mm; 高:400mm
2. 靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.10mm (大约)
3. 真空室:直径:160mm,高:120mm
4. 样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm,可以根据需要上下调节。
5. 最高真空度:≤10-2 Torr
6. 最长定时时间:900S
7. 最高电压: 0-1600V(标配) /0-3000V(选配)
8. 机械泵:2升/每秒,AC 220V
可选配:
冷台 小型冷水机 三靶溅射头(在进行特殊涂层的应用时,不需要打开真空即可进行三层沉积溅镀)。
主要特点:
本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方
便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。
主要特点
轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作
企业名称
北京新兴百瑞技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108007890498
成立日期
2005-01-07
注册资本
500000
经营范围
技术开发、技术服务、技术咨询;销售金属矿石、非金属矿石及其制品、金属材料、 建筑材料、机械设备、五金交电、电子产品;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
北京新兴百瑞技术有限公司
公司地址
北京市海淀区中关村北二条13#5号楼216室
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