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离子束研磨金属样品观察电子通道衬度图像

2016/04/15 11:52

阅读:681

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应用领域:
地矿
发布时间:
2016/04/15
检测样品:
金属矿产
检测项目:
进行初步抛光,获得相对平整的表面,在扫描电镜下发现机械划痕和表面污染严重
浏览次数:
681
下载次数:
参考标准:
暂无

方案摘要:

使用Leica EM TIC 3X三离子束切割仪的平面旋转抛光台抛光大概90分钟后,整片数毫米的样品在电镜下已经看不到划痕,无论在二次电子图像还是背散射电子图像下都非常平整。

方案详情:

离子束研磨金属样品观察电子通道衬度图像 

金属镍的扫描电镜电子束通道衬度图像

 

扫描电镜的电子通道衬度(Electron channeling contrast,简称ECC)的图像信号来于背散射电子。对于成分均匀的金属或者其他晶体材料,背散射电子的强度取决于入射电子束与晶面的相对取向,当入射电子束与晶面之间的夹角较大,背散射电子较容易逃逸出样品表面,此时背散射电子信号较强,在图像中显示更亮。

 

扫描电镜电子通道衬度的图像信号深度与加速电压值相关,通常来源于100nm以内的表层。因此要获得清晰的SEM-ECC图像,样品表面需要洁净且没有机械应力损伤。采用Leica EM TIC 3X 氩离子平面抛光方式,可以获得大面积的SEM-ECC图像观察区域。

 

实验中先对金属镍样品进行初步抛光,获得相对平整的表面,在扫描电镜下发现机械划痕和表面污染严重。图像如下:

机械抛光后的二次电子图像800


机械抛光后的背散射电子图像800

 

使用Leica EM TIC 3X三离子束切割仪的平面旋转抛光台抛光大概90分钟后,整片数毫米的样品在电镜下已经看不到划痕,无论在二次电子图像还是背散射电子图像下都非常平整。

离子抛光后的宏观图像35

离子抛光后的边缘区域图像1000

任意选择一区域进行放大观察,在2000倍以上晶粒轮廓就明显的显现出来了。

离子抛光后的SEM-ECC图像2000

由于此金属镍样品的晶粒尺寸非常小,需要放大到2万倍以上才能观察其中小晶粒的边界。为了获得更高空间分辨率的SEM-ECC图像,电镜拍摄过程中使用低加速电压背散射电子成像模式。3万倍和5万倍的图像下,尺寸在10nm以下的孪晶结构清晰可见!

离子抛光后的SEM-ECC图像30,000

注:孪晶是指两个晶体(或一个晶体的两部分)沿一个公共晶面(即特定取向关系)构成镜面对称的位向关系,这两个晶体就称为"孪晶",此公共晶面就称孪晶面。孪晶的形成与堆垛层错有密切关系。孪晶的形成后,孪生界会降低位错的平均自由程,起到硬化作用,降低塑性。

 

相关设备

§ 

Leica EM TIC 3X三离子束切割仪

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