微电子和半导体用检验系统 DM3?XL

徕卡新品丨微电子和半导体用检验系统 DM3?XL

在微电子和半导体行业中，检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快，您做出响应的速度也就越快。

DM3 XL 检验系统凭借高稳定性大载物台，大视场帮助您的团队更快地识别缺陷，提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜，视场宽敞 30%。

平托式6”大载物台，稳重大气

为用户大样品需求量身定制的6”大载物台，摒弃了传统的悬臂式固定方式，采用了平托式技术，帮助客户更快速精准的进行样品定位。

多种可选载物台插件满足您的更多需求。无论您想要检验的样品是哪种类型，尺寸如何，均有种类丰富的载物台插件供您选择。

·         载物台移动方式：平托式

·         载物台尺寸：150 mm x 150 mm

·         载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座

适用于所有相衬观察方法的 LED

DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。

·         在所有亮度等级下实现真彩色成像

·         自由调节

·         无需更换灯泡 – 无停机时间

·         可复制的结果

由于 LED 使用寿命长，耗电量低，因此还具有巨大的成本节约潜力。

光学“高手”

DM3 XL 让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。

·         采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑：

·         以简单有效的 方式从不同角度照亮样品，从而实现各种形貌的可视化。

·         借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。

您将对明显提高的灵敏度和分辨率感到震惊。

有效的人机工程学设计让工作更舒适直观

彩色编码光圈辅助 (CCDA) 对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化，有助于提升您的工作速度，并最大程度减少操作失误。

直观明了的功能帮助您的团队更快速地交付最佳结果。

·         得益于可轻松操作的控件，用户可在切换对比度或照明时，双手继续操作显微镜，双眼专注于样品之上。

·         右手可轻松操控光强控制器

·         使用可变人体工学镜筒和调焦旋钮，根据不同身高调整显微镜