Leica/Bal-Tec 离子减薄仪

仪器简介：

  功能最强大的离子减薄仪器，徕卡RES102多功能离子减薄仪。Leica EM RES102 是一款独特的离子束研磨设备，带有两个鞍形场离子源，离子束能量可调，以获得最佳离子研磨结果。这一款独立的桌面型设备集 TEM，SEM和LM样品制备功能于一体，这与市面上其它设备截然不同。除了高能量离子研磨功能外，徕卡EM RES102还可用于低能量极温和的离子束研磨过程。

功能介绍

.透射电镜TEM样品离子减薄 

.扫描电镜SEM样品大面积平面离子抛光 

.扫描电镜SEM样品离子刻蚀 

.扫描电镜SEM样品截面切割 

.聚焦离子束FIB样品去除非晶损伤层

全马达控制的双离子枪和样品台 

技术参数：

减薄角度可调由0º至90º
主机内置2级泵,确保高真空

加速电压范围：800V～10kV（100V步进） 

最大离子电流：不小于4.5mA（单把离子枪） 

离子枪倾斜角：±45度（精确到0.1度） 

样品台倾斜角：-120度～210度（精确到0.1度） 

.四级系统隔膜泵和涡轮分子泵 

.真空度优于1×10-5mbar 

.真空预抽室换样时间少于1分钟 

主要特点：

减薄角度可调由0º至90º
一体化设计,重复性实验设备,可靠具操作性
全电脑控制,精确的参数调整,运行中无需人干涉
鞍式离子枪,高能量-快速蚀刻
制冷系统,铜传导,确保TEM,SEM在低温下操作
主机内置2级泵,确保高真空
减少装卸时间,高效率
操作简便直观,带自保护防止离子溢出与过热功能
法拉力环检查样品是否穿孔,自动终止功能
装载闸保持系统高真空度稳定不变
减薄过程中离子能量高低可调
内置视频监视器,直接观察样品减薄情况
可编程,触摸屏设计,直观操作