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液体颗粒计数器检测低粘度光刻胶颗粒的方法

2024/08/14 09:03

阅读:1

分享:
应用领域:
半导体
发布时间:
2024/08/14
检测样品:
其他
检测项目:
光刻胶里不溶解粒子的大小和数量
浏览次数:
1
下载次数:
参考标准:
ISO21501-2

方案摘要:

检测步骤:从样本准备到仪器校准,再到自动检测与数据分析,每一步都遵循严格的操作规程。样本需经过特定的预处理,以去除干扰因素,随后注入计数室,在特定光路下,颗粒的散射光信号被捕捉并转化为电信号,经过软件算法处理,形成直观的颗粒分布图谱。

产品配置单:

前处理设备

普洛帝硫酸铜液体颗粒计数器

型号: PMT-2T

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品牌: 普洛帝

¥22.8万

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分析仪器

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产地: 四川

品牌: 普洛帝

¥54万

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型号: PMT-2J

产地: 四川

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高粘度光刻胶液体颗粒计数器

型号: PMT-2GN

产地: 陕西

品牌: 普洛帝

¥54万

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设备配件

PFA材质电子级取样瓶

型号:

产地:

品牌: 普洛帝

¥2200

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高清洁输液取样瓶

型号:

产地:

品牌: 普洛帝

¥8888

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所需试剂

高清洁清洗剂

型号: 500ml

产地:

品牌: 普洛帝

¥280

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方案详情:

 

1、检测背景:液体颗粒计数器在微电子制造领域,特别是针对低粘度光刻胶的精密颗粒检测中,扮演着至关重要的角色。这一方法依托于高精度的光学或激光散射原理,能够高效识别并计数悬浮于光刻胶微细液滴中的微小颗粒,其检测背景深厚,源自半导体工业对工艺洁净度的不懈追求。
   2、检测仪器:作为这一精密任务的核心,采用了先进的传感技术与数据处理算法,确保了即使在极低的浓度下,也能准确无误地捕捉到从纳米级到微米级不等的微小颗粒。仪器内部设有精密的流体控制系统,确保光刻胶样本在检测过程中均匀流动,避免气泡与颗粒混淆,保证了检测结果的准确性。


   

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3、检测步骤从样本准备到仪器校准,再到自动检测与数据分析,每一步都遵循严格的操作规程。样本需经过特定的预处理,以去除干扰因素,随后注入计数室,在特定光路下,颗粒的散射光信号被捕捉并转化为电信号,经过软件算法处理,形成直观的颗粒分布图谱。

4、数据分析利用专业的统计软件,对收集到的数据进行深度剖析,不仅计算颗粒数量与尺寸分布,还能进一步评估其对光刻工艺可能造成的潜在影响。此外,软件还能自动生成报告,便于质量管理与工艺优化。  


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5、值得注意的是,在进行低粘度光刻胶颗粒检测时,需特别注意环境控制,如温度、湿度及洁净度,以最小化外界因素对检测结果的影响。同时,定期维护与校准仪器,确保其长期稳定运行,也是保障检测质量的关键所在。


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