电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法

2023-04-13 11:08

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资料摘要：

为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控？电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品，主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质，质量要求高，产品中金属离子须达到ppt级

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