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SELA是一家半导体行业最前沿的产品表征和失效分析设备的 制造商,隆重推出了提供优异样品质量、可以大幅度降低周转时 间和提高生产率的Xact技术,是一个使用全新的AIM技术的TEM样 品制备系统。 SELA 公司独创的自适应离子研磨技术比传统的聚焦离子束 (FIB)技术更优越, AIM 可以将大面积材料制作的样品宽度降 低到 50nm以下,精确度高,免人工且产量较高。 SELA的最新系统 -Xact,推出了一种独特的双束技术,可以 获得更清晰的无伪影样品图像和更精确的终点探测。 Xact 结合 SELA 的扫描电镜定向的微劈尖方法 ,可以满足半导体行业和纳 米技术领域中高质量标准、自动化表征以及失效分析的要求。 Xact和SELA最新的独立的预减薄系统(EM3)为 TEM和SEM提 供了一个综合的,高性价比的样品制备方法,预减薄和最终减薄 是两个独立且优化的设备,可以同时进行两个过程,从而提高整 体的生产率。这也会降低单个样品的制作成本,进而提高具有高 质量、大面积和终点探测的样品制备工作的成功率。 产品优势 ※ 无可匹敌的质量,免人工 ※ 高精度的特定区域研磨 ※ 常规薄片减薄到30nm以下,覆盖大面积相关区域 ※ 各方向薄区硬度均可满足要求 ※ 高效生产,带有突破性终点探测 ※ 采用独特的动态氙离子束减薄的AIM技术 自适应性离子减薄(AIM技术)
· 入射角:0~30°
· 全球定位:0~360°
※ 能量变化:1~10keV ※ 精抛:1000~1600eV ※ 点轮廓:圆形或者椭圆 ※ 点尺寸:10~1000μm ※ 最大电流:20μA
· 扫描范围:200μm
· 研磨速度:粗抛 0.5~2μm/min
精抛 5~20nm/min SEM/STEM ※ SEM/STEM实时图像监控 ※ STEM基于实时厚度监控 ※ SEM采用钨或者LaB6灯丝 ※ 三点的暗场/明场的热电探测器 加工参数
· 自动光束校正的光学部件
· 厚度测量范围5~2000nm
· 非晶态1~2nm
※ 进程中的厚度变化控制 ※ 进程中的表面质量控制 ※ 研磨质量控制 ※ 基于厚度测量反馈进行样品剖面优化 ※ 感兴趣区域/厚度:10μm/<30nm 40μm/<100nm 操控器
· 反转倾斜-360°
※ 五轴快速样品触发器 ※ 通过扩展X轴载入样品 ※ 自动样品准直和定位
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企业名称
北京中兴百瑞科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110114MA01U9DY73
成立日期
2020-08-18
注册资本
100万元
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;针纺织品销售;服装服饰批发;鞋帽批发;鞋帽零售;化工产品销售(不含许可类化工产品);机械设备销售;电子产品销售;计算机系统服务;货物进出口;日用品销售.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)(不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
公司地址
北京市海淀区中关村北二条13号1号楼508室
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公司名称: 北京中兴百瑞科技有限公司
公司地址: 北京市海淀区中关村北二条13号1号楼508室 联系人: 吴凯 邮编: 100080
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