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上海和呈仪器制造有限公司
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HMDS烘箱的工作流程
和呈的HMDS系列的烘箱其工作流程首先是确定烘箱工作温度，典型的预处理程度为：打开真空泵抽真空，待腔内真空度达到某一高真空度后，开始充入氮气，充到达到某低真空度后，再次进行抽真空，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分，然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理：首先加热到100度-200度，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面，整个反应持续到空间位阻（三甲基硅烷基较大）阻止其进一步反应。
办公地址：上海市奉贤区南桥镇翡翠国际广场1号楼1020
工厂地址：上海市浦卫公路6955号
官网地址：www.hasuc.cn
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