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应用于IC、半导体制造及科研开发等领域 覆盖生产线上所有非金属薄膜 多参数和多层膜测量
Nanothi 100技术规格 可测薄膜 可测膜层 Oxide、Nitride、BPSG、PR、PI、Polymer、Polysilicon、ITO等 膜层结构 Oxide/Si、PR/Si、Nitride/Si、Polysilicon/Oxide/Si 等单、多层结构 测量参数 T,N,K,R 测量范围 25nm - 20µm (Oxide/Si) 硬件规格 光谱范围 400-800nm 物镜倍率 4X 10X 40X 光斑尺寸 最小30µm 机械分辨率 X:1µm, Y:1µm, Z:0.04µm 测量指标 250Å-2000Å 2000Å-20µm 准确度 ±1% ±1% 重复性(3б) 0.75Å 0.05% 稳定性(3б) 2.4Å 0.25% 测量时间 单点 < 3sec, 5点 <30sec
先进的光学测量技术 高精度、高重复性测量 稳定、使用寿命长且低成本的光源 高性能PDA 自动调焦 三维全自动机械平台 贴近生产实际操作习惯的软件系统,为测量提供快捷、方便易用的操作 数据的准确测量与实时评价
企业名称
北京维泰凯信新技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110000005611375
成立日期
2003-04-04
注册资本
1160
经营范围
技术开发、技术服务、技术咨询、技术转让、技术培训;开发计算机软硬件;销售医疗器械I类、金属材料、机械设备、电子产品、家用电器、通讯设备、计算机、软件及辅助设备、日用品、自行开发后的产品、纸制品、塑料制品、木制品;货物进出口、技术进出口、代理进出口;包装服务;机械设备租赁(不含汽车租赁);教育咨询(中介服务除外);文化咨询;会议服务;承办展览展示活动;自然科学研究与试验发展。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
公司地址
海淀区三虎桥南路17号院(北院)6号楼206
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公司名称: 北京维泰凯信新技术有限公司
公司地址: 海淀区三虎桥南路17号院(北院)6号楼206 联系人: 何经理 邮编: 100048 联系电话: 400-860-5168转1732
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