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超高真空X射线光电子能谱仪
DA0084
通过半球形能量分析仪和黑白X射线进行高分辨率光电子能谱分析。
可与MBE装置对接，在不破坏超高真空环境的环境下，对样品进行分析测定。
| 分析室 | 付镍铁合金屏蔽罩 |
| 样品尺寸 | 10mm×10mm |
| 角度分辨率 | 0.05° |
| 样品操纵装置 | 4轴马达控制装置(X, Y, Z, θ) |
| 排气系统 | IP / TSP，TMP，SP |
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