表面分析系统 | LEED / AES |
蒸发源 | 超高真空蒸发源 AEV系列 |
气源 | 氢气射流 AEV系列 |
样品加热 | 直接通电加热式(TC接触式样品架) |
样品操纵装置 | X,Y,Z,θ,平面旋转五轴运动控制 |
升温脱离分析 | 四重极质量分析计 |
气体导入系统 | 高精度可变漏阀 |
分析室真空度 |
10-8Pa级 (TMP排气) *可搭载IP排气系统达到(10-9Pa级) 封闭样品载入室保准配置 |
超高真空排气控制系统 |
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