电镜半导体高低温模块

半导体加热器（ -25°C to +50°C (at 3mbar)）或（-50°C to +100°C）

半导体加热器模块（适用于扫描电镜）

该半导体加热模块可以被安装到扫描电镜样品台上像个样品一样。该模块内部的新型温度交换器结构，使得温度变化非常迅速以及准确。 通过PID控制器，最小能够控制到1/10℃。

快速连接，几秒钟内就可以完成安装和拆卸。不需要更换法兰馈通。

由于其独特的内部设计，样品电流测量也可以在加热/冷却实验时来完成。

半导体模块可以配合标准样品夹具或用夹具夹住样品。

这种半导体加热系统可以独立使用，软件可以集成到大多数SEM操作系统中。

规格参数

   温度范围            -25°C to +50°C (at 3mbar with ambient at 20°C)

X  可扩展温度范围       -50°C to +100°C !

X  温度精度       ± 1°C

X  显示分辨率              0,1°C

X  温度稳定性         ± 0,1°C

X  加热或冷却的速率        30°C per minute !

X  具备样品电流测量能力

X  包含PID 控制器

X  接口 RS 232, USB, etc.

X  软件环境适用于绝大部分的电镜系统

X  可独立使用   X   快速安装连接 X   总控系统 (pnp)