加热器(1050° C)
适用于湿度和腐蚀环境,变压和环境扫描电镜
简述
这款样品台(或“模块”),用于加热实验(室温至1'050℃)被设计为测试环境条件比较复杂的SEM实验。它就如大样品一样被卡入SEM样品台。
该模块适用于腐蚀实验,并可在气体或水蒸汽环境中加热。作为选项,在一个真空馈通上的针阀允许精细控制气体或蒸气加入到加热室内。在加热过程中,加热室可以通过关闭上部的盖子来保护SEM内部腔体。在极高温度的加热试验中,保护盖必须一直关闭(见右边小插图)。在完成高温加热后,盖板可以再次打开释放在潮湿或气体中,以检查试样的表面上加热效果。如果没有气体流动和探测器妨碍的话,加热也可以在开盖情况下完成,观察表面的变化。
本模块核心部件是封装好的陶瓷电阻加热器。样品夹持器可以制成许多种形状,如平板或杯形。扁平样品尺寸可以达到 10×10平方毫米,使用小钨丝弹簧固定样品。众多优良设计避免电场可能影响SEM图像。
真空法兰连接套件都在出厂时需要确认型号。
指标
加热模块1050℃,具备气体环境附件(可选)。
温度控制器
将PID温度控制器(通常配有PC接口)根据实验所需的物理参数引导温度,。在经过最初的“学习”流程后,执行一次,即可确定加热速率。该控制器将运行该加热速率,避免反复加热震荡。所述加热控制部也可通过单个命令来改变在所述加热器的电流,并一步步的观察在试样表面上的变化。
附加模块的扫描电镜样品台
加热模块安装就如扫描电镜样品台上大样品的安装一样。整个模块可以随着样品台将在试样腔室移动。加热单元适用于大多数SEM。扫描电镜的真空馈通,水箱,泵和水冷出厂时都包含在内。
气体环境下加热(可选)
一些SEM允许查看在低真空的条件下或与几个Torr的水蒸气环境下运作。在300和500度的加热器版本将在真空或是全大气压中工作。高温试验也可以在“VP”(“变压”)扫描电镜真空中完成。这个模块更进一步:可以在腐蚀性和非常“湿”环境可通过一个承载这些气体的小型封闭加热腔体实现。此进气口是由一个非常精确的针形阀,连接于SEM腔室壁上的真空馈通。一个不锈钢毛细管供给的气体送入加热室。小加热器室具有真空下关闭的电动机构。
在加热器腔室的盖是关闭的情况下甚至在强腐蚀性气体也可以使用。
模块
尺寸约65毫米x 55毫米x 38毫米。中央加热元件具有多层反射罩内。对于热隔离,整个结构依赖于尖锐的末端接触。这种点接触,连同屏蔽和水冷系统,能保证散热到托架中,这样可以最大程度的保护仪器本身。
可用多种方法夹持试样。
相关产品
加热模块使用温度范围:室温-300℃,500℃,800℃,这取决于所需的版本。
显微操作器(纳米手臂),集成加热平台:300°,500°或800℃。该探针的精确定位,具有10纳米的精度。
低温阶段(液氮气或液氦),半导体加热/冷却模块。
HeatingModule
Dimensions | 295x 320x 125mm3 |
Weight | 7kg(15.4lb) |
InputVoltage | 115 V/230V/AC50-60Hz |
Powercons. | 250Wmax. |
Heating-Voltage | 0-30V/DC |
Heating-Current | 5.0A |
Interface | RS485 |
控制器
尺寸(LxWx H) | 65x 55 x 38mm3 |
重量 | appr.1.0kg(2.2 lb) |
样品大小 | e.g.10x 10mm2 |
最大加热速率 | 5°C/s |
温度传感器 | PT100/NiCr-Ni |
温度范围 | RT -1050°C |
温度稳定性 | 0,1°C(PT100)/1°C |