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微纳三维形貌结构分析——DHM

2018-09-10 15:58

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资料摘要:

DHM®-T 除了可以测量透明样品形貌,还可以测量材料光学参数、内部结构以及缺陷杂质等。DHM®-T是测量微光学元件、透明器件形貌、材料折射率等的理想工具,如果与折射率匹配液一起使用,还能增加最大可测倾角范围,特别是在测量众多微光学元件的应用中拥有明显优势。其他一些主要应用方向包括表征微流体器件和微颗粒三维追踪测试等。DHM®-系列兼容全部可选配件,包括电动样品台, 频闪模块以及数据分析软件等。
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