瑞士Lyncée tec、DHM反射式数字全息显微镜

DHM测量表面三维样貌，单一响应，无需扫描机制。无与伦比的快速采集，相机速度达1000fps允许：

可变形样品的3D动态研究

常规检查与高生产率

短余辉荧光屏及大型表面的分析

捕捉生产线的三维地貌

同步DHM 可选频闪单元，测量MEMS装置的激励信号。这一独特数据分析提供：

三维地貌的时序

共振频率和响应

振动振幅平面外分辨率可达5pm,平面内可达1nm

表征复杂运动和样品

测量可控制环境条件

透明模式的地貌测量

DHM独特的光学配置允许用户测量最佳光学质量指标：

通过玻璃和浸没液体

内部环境和真空室，控制温度，湿度，压强，气体成分。

可选DHM反射式测量法分析软件允许以下测量：

透明结构的地形

厚度和折射率，多层结构的厚度值

从10nm到几十微米

柔软材料和液体的地形

DHM型号

R1000

R2100

R2200

光源数量

1

2

3

操作波长（±0.1nm）

666nm

794nm

666 nm, 794 nm, 680 nm

激光波长稳定性

0.01 nm / °C at 666

样品台

手动或自动XYZ平台，行程300 mm x 300 mm x 38 mm

物镜

放大倍数1.25x到100 x，标准，高数值孔径，长工作距离，水/油浸物镜

物镜转轮

六孔转盘

计算机

DELL工作站，最新多核Intel处理器，高性能图像卡，配置最小21英寸显示屏及鼠标，

软件

基于C++和.NET的Koala软件，额外可选软件模块可用于先进分析

数据兼容性

测量数据记录在二进制表格，可导出.txt格式，记录和重建图像可导出.tif格式或.txt数组

测量模式

666nm单波长

合成短波长4.2um

合成长波长24um

DHM型号

R1000，R2100，R2200

R2100，R2200

R2200

精度[nm]

0.15

0.15 / 3.0 *

20

垂直分辨率[nm]

0.30

0.30 / 6.0 *

40

重复性[nm]

0.01

0.01 / 0.1 *

0.5

垂直测量范围

up to 200 μm

up to 200 μm

up to 200 μm

锐利边缘最大台阶高度

up to 333 nm

up to 2.1 μm

up to 12 μm

表面类型

光滑表面

复杂，非连续表面

复杂非连续表面

垂直校准

取决于干涉滤光片，±0.1 nm

响应时间

标准500us,10us(可选)

响应速度

标准30帧（1024*1024像素），可选达1000帧

重建速率

高达25帧1024*1024像素全息图（依赖于数据分析）（可选60帧）

水平分辨率

取决于物镜，低至300nm

视野

取决于物镜，从66um x66um到5um x5um范围

工作距离

取决于物镜，从0.3到18 mm

数字对焦

取决于物镜，高达50 x景深

最小样品反射率

低于1%

样品照明

低至1 μW/cm2

频闪装置

兼容单一，合成短波长