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核心参数
仪器种类： 通用型
产地类别： 进口
容积： 5L
超声频率： 40KHZ
超声功率： 100W
功率是否可调： 是
温度是否可调： 是
时间是否可调： 是
降音盖： 有
进排水： 自动
美国ibss公司由Vince Carlino成立于2002年，该公司持续致力于等离子清洗设备的开发，特别是针对电子束等易产生积碳应用场景下等离子清洗设备的开发，其专利的DownStream技术能够保证等离子体中不含电荷或离子态的物质存在，从而可以最大程度降低等离子体对样品表面的损伤，同时能够保证线性清洗效果，从而满足定量去除制样的需求。
该公司产品全球销售总量超过1000台，中国地区知名用户如：北京大学、上海光源、SMIC、YMTC/XMC、TSMC、Infineon等。
技术优势：
1、采用专利DownStream设计，等离子体中不含任何电荷及离子态物质，防止对样品表面的溅射损伤；
2、ICP诱导激发等离子体，等离子体量大，且作用范围广；
3、可同时清洗3根透射电镜样品杆，支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列样品杆；
4、采用Qwk-Switch快接口设计，等离子发生器可以直接接入其他真空腔体进行在线清洗，一机多用；
5、清洗功率范围：10W-99W，样品清洗舱大小：7英寸（φ） X 7英寸（H）；
6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜；
7、配备真空探测系统，可设定真空范围自动进行清洗；
8、清洗速率：1.5nm/min@30W, 清洗去除为线性模式，可定量化去除污染 。
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企业名称
理化（香港）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2008-05-25
注册资本
经营范围
理化（香港）有限公司 北京办事处
公司地址
理化（香港）有限公司 北京办事处
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