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技术参数：
紫外激光光束分析仪(UV - Laser Beam Profiler)
可用于准分子激光器和 Nd：YAG 激光器的高次谐波
相机系统：
• 高动态范围
• 高分辨率紫外转换器
• Homogeneity up to > 98 % over active area
• 延迟时间短
• 损伤阈值高达15 J/cm²
• 单脉冲探测频率达1 KHz(由转换器的延迟时间决定)
| Laser | Wavelength | beam size | ||||||||
| F2 | 157 nm | |||||||||
| ArF | 153 nm | |||||||||
| NdYag 5th | 213 nm | < 1mm | < 5x4 | < 9x6 | < 13x9 | < 18x13 | < 27x20 | <35x27 | <43x32 | < 50x38* |
| KrF |
248 nm |
Laser spot | ||||||||
| NdYag 4th | 266 nm | |||||||||
| XeCI |
308 nm |
ML5222 10x | direct | ML5201 | ML5202 | ML5203 | ML5204 | ML5205 | ML5206 | ML5207 |
| XeF | 351 nm | ML5223 20x | ||||||||
| NdYag 3rd | 355 nm | ML5224 40x |
| Software | ML1201 | beamlux II advanced | |
| Camera | ML3720 | 1/2” CCD 782 x 582 | |
| ML3743 | 2/3” CCD 1392 x 1040 |
主要特点：
Features
• 可测量所有的准分子激光器
• 在线质量控制
• real time evaluation of the laser with 1/10th of a second
• Synchronizes up to three cameras simultaneously for measurement of raw beam and processing plane
• TCP/IP remote control to control your laser system from your desk
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企业名称
北京欧兰科技发展有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108003886158
成立日期
2002-06-14
注册资本
50000
经营范围
技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;计算机技术培训;基础软件服务;应用软件服务;计算机系统服务;数据处理;计算机维修;销售计算机、软件及辅助设备、电子产品、机械设备、通讯设备、五金、交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、文化用品、体育用品、日用品。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京欧兰科技发展有限公司
公司地址
北京市海淀区上地十街1号辉煌国际中心1号楼1006室
客服电话
公司名称： 北京欧兰科技发展有限公司
公司地址： 北京市海淀区上地十街1号辉煌国际中心1号楼1006室 联系人： 李俊杰 邮编： 100085 联系电话： 400-860-5168转1446
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