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当前位置： 欧兰科技 > 位移台 > MCL 提示/倾斜、旋转纳米位移台Align6系列

MCL 提示/倾斜、旋转纳米位移台Align6系列

品牌： MCL关注纳米
产地： 美国
型号： Nano-Align6 Series
报价： 面议
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核心参数

产品种类： 电动位移台

产品介绍


Features

  • Low profile

  • Six axis motion (XYZ θX θY θZ)

  • 100 μm x 100 μm x 100 μm x 1.1 mrad x 1.5 mrad x 5 mrad ranges of motion

  • 200 μm x 200 μm x 200 μm x 2.3 mrad x 3.0 mrad x 5 mrad ranges of motion

  • Center aperture: 35mm diameter

  • Closed loop control



Typical Applications

  • Alignment

  • MEMS

  • Nanolithography

  • Metrology


six axis piezo stage with xyz tip tilt and in-plane rotation and manual micrometer stage

Product Description

The Nano-Align6 is a six axis (X, Y, Z, θX , θY, θZ) nanopositioning system with a large center aperture. The Nano-Align6 is ideal for alignment applications which require three linear axes of motion (X, Y, Z) combined with rotational motion about each axis. The large aperture provides excellent access for microscopy optics, sample holders, and probe placement. The Nano-Align6 includes internal sensors on every axis using Mad City Labs’ proprietary PicoQ®technology for absolute position measurement and picometer/nanoradian accuracy under closed loop control.



Technical Specifications

Ranges of motion (Nano-Align6-100)100 x 100 x 100 μm x 1.1 mrad (θX) x 1.5 mrad (θY) x 5 mrad (θZ)
Ranges of motion (Nano-Align6-200)200 x 200 x 200 μm x 2.3 mrad (θX) x 3.0 mrad (θY) x 5 mrad (θZ)
Resolution (Nano-Align6-100)0.2 nm (XYZ), 2.2 nrad (θX), 3.0 nrad (θY), 10 nrad (θZ)
Resolution (Nano-Align6-200)
0.4 nm (XYZ), 4.6 nrad (θX), 6.0 nrad (θY), 10 nrad (θZ)
Resonant Frequencies
X axis (Nano-Align6-100/Nano-Align6-200)450/400 Hz ±20%
Y axis (Nano-Align6-100/Nano-Align6-200)350/300 Hz ±20%
Z axis (Nano-Align6-100/Nano-Align6-200)450/350 Hz ±20%
Recommended max. load (horizontal)*0.5 kg
Recommended max. load (vertical)*0.2 kg
Body MaterialAluminum, Titanium or Invar
ControllerNano-Drive®
* Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.



Additional Information

Nano-Align6 Series Drawing
six axis piezo stage drawing
Nano-Align6 Series Catalog Pages
catalog page for six axis nanopositioning system



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工商信息

企业名称

北京欧兰科技发展有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110108003886158

成立日期

2002-06-14

注册资本

50000

经营范围

技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;计算机技术培训;基础软件服务;应用软件服务;计算机系统服务;数据处理;计算机维修;销售计算机、软件及辅助设备、电子产品、机械设备、通讯设备、五金、交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、文化用品、体育用品、日用品。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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