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  • MCL 提示/倾斜、旋转纳米位移台Align5 系列
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MCL 提示/倾斜、旋转纳米位移台Align5 系列

产地: 美国
型号: Nano-Align5 Series
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核心参数

产品种类: 电动位移台

产品介绍

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Features
  • Low profile

  • Five axis motion (XYZ θX θY)

  • 100 μm, 200 μm, or 300 μm motion in XYZ

  • Up to 3.3mrad motion in θX , and up to 4.5 mrad motion in θY

  • Center aperture: 2.6" x 2.6"

  • Closed loop control



Typical Applications
  • Alignment

  • MEMS

  • Nanolithography

  • Metrology


XYZ tip tilt nanopositioning systemfive axis tip tilt piezo stage with manual micrometer stage

Product Description

The Nano-Align5 is a five axis (X, Y, Z, θX , θY) nanopositioning system with a large center aperture. The Nano-Align5 is ideal for alignment applications which require three linear axes of motion (X, Y, Z) combined with “tip” and “tilt” (θXθY). The large center aperture provides excellent access for microscopy optics, sample Nano-Align5 constructed from aluminum. holders, and probe placement. The Nano-Align5 includes internal sensors with proprietary PicoQ®technology for absolute position measurement and picometer/ nanoradian accuracy under closed loop control. The Nano-Align5 can be combined with the MicroStage and Manual MicroStage for long range micropositioning.



Technical Specifications

Ranges of motion (Nano-Align5-100)100 x 100 x 100 μm x 1.1 mrad (θX) x 1.5 mrad (θY)
Ranges of motion (Nano-Align5-200)200 x 200 x 200 μm x 2.3 mrad (θX) x 3.0 mrad (θY)
Ranges of motion (Nano-Align5-300)300 x 300 x 300 μm x 3.3 mrad (θX) x 4.5 mrad (θY)
Resolution (Nano-Align5-100)
0.2 nm (XYZ), 2.2 nrad (θX), 3.0 nrad (θY)
Resolution (Nano-Align5-200)0.4 nm (XYZ), 4.6 nrad (θX), 6.0 nrad (θY)
Resolution (Nano-Align5-300)0.6 nm (XYZ), 6.6 nrad (θX), 9.0 nrad (θY)
Resonant Frequencies
X axis (100/200/300 μm)450/400/350 Hz ±20%
Y axis (100/200/300 μm)350/300/250 Hz ±20%
Z axis (100/200/300 μm)450/350/250 Hz ±20%
Stiffness1.0 N/μm
Recommended max. load (horizontal)*0.5 kg
Recommended max. load (vertical)*0.2 kg
Body MaterialAluminum (all models), Invar or Titanium (100 or 200μm only)
ControllerNano-Drive®
* Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.



Additional Information

Nano-Align5 Series Drawing
drawing of five axis xyz tip tilt nanopositioner
Nano-Align5 Series Catalog Pages
catalog page for five axis xyz tip tilt nanopositioning system



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工商信息

企业名称

北京欧兰科技发展有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110108003886158

成立日期

2002-06-14

注册资本

50000

经营范围

技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;计算机技术培训;基础软件服务;应用软件服务;计算机系统服务;数据处理;计算机维修;销售计算机、软件及辅助设备、电子产品、机械设备、通讯设备、五金、交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、文化用品、体育用品、日用品。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

联系方式
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