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MCL 提示/倾斜、旋转纳米位移台Align3 系列

产地: 美国
型号: Nano-Align3 Series
报价: 面议
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核心参数

产品种类: 电动位移台

产品介绍
简介
Nano-Align3是一款低轮廓(0.8英寸)三轴纳米定位系统,提供100 μm或200 μm的Z轴行程和2mradians或4mradians的θXθY角度调整,适用于纳米级对准和精密测量应用。其大中心孔径(2.6"x2.6")和闭环控制使该设备在显微镜对准等应用中表现出色。采用PicoQ®技术实现皮米和纳弧度精度。可根据需求选择不同型号以满足特定的行程范围和负载要求。


Features
  • Low profile: 0.8"

  • Three axis motion (Z θX θY)

  • Large center aperture: 2.6" x 2.6"

  • Long range: 100 μm or 200 μm (Z), 2mradians or 4mradians (θXθY)

  • Closed loop control



Typical Applications
  • Z-axis plus tip/tilt alignment

  • Nanolithography

  • Microscopy

  • MEMS


Z tip tilt piezo stage

Product Description

The Nano-Align3 is a three axis (Z, θX , θY) nanopositioning system with a large center aperture. The low profile design of the Nano-Align3 allows it to be integrated into existing instrumentation where space is restricted. The center aperture makes the Nano-Align3 ideal for demanding microscopy alignment applications which require long range travel and high precision. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide picometer and nanoradian precision under closed loop control.



Technical Specifications

Ranges of motion (Nano-Align3-100)
Z axis
100 μm
θX and θY2 mradian
Ranges of motion (Nano-Align3-200)
Z axis200 μm
θX and θY4 mradian
Resolution (Nano-Align3-100)0.2nm/ 4 nradian
Resolution (Nano-Align3-200)0.4nm/ 8 nradian
Resonant Frequency (Nano-Align3-100)600 Hz ±20%
Resonant Frequency (Nano-Align3-200)450 Hz ±20%
Stiffness1.0 N/μm
Recommended max. load (horizontal)*0.5 kg
Recommended max. load (vertical)*0.2 kg
Body MaterialAluminum, Titanium, or Invar
ControllerNano-Drive®/Nano-Drive®85
* Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.



Additional Information

Nano-Align3 Series Drawing
drawing of Z tip tilt piezo stage
Nano-Align3 Series Catalog Pages
Nano-Align3 catalog pages



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工商信息

企业名称

北京欧兰科技发展有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110108003886158

成立日期

2002-06-14

注册资本

50000

经营范围

技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;计算机技术培训;基础软件服务;应用软件服务;计算机系统服务;数据处理;计算机维修;销售计算机、软件及辅助设备、电子产品、机械设备、通讯设备、五金、交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、文化用品、体育用品、日用品。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

联系方式
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