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MCL纳米双轴、三轴位移台MET系列

产地: 美国
型号: Nano-MET Series
报价: 面议
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核心参数

产品种类: 电动位移台

产品介绍


Features
  • High speed, multi-axis

  • 2 and 3 axis configurations

  • Closed loop control

  • Ultra-low noise performance

  • Picometer positioning resolution

  • High stability

Typical Applications
  • High speed, high resolution positioning

  • Metrology

  • AFM

  • SPM




Product Description

The Nano-MET2 and Nano-MET3 are ultra-low noise, high precision nanopositioning systems with picometer positioning resolution. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement under closed loop control. The ultra-low position noise (4 picometers/Hz in XY and 400 femtometers/√Hz in Z) of these nanopositioning systems make them ideal for demanding metrology applications. With a resonant frequency of 13.5kHz, the z-axis of the Nano-MET3 offers ultra-fast response needed for demanding AFM applications. Related products include the Nano-METZ, Nano-MET10 and Nano-MET20 nanopositioning systems.



Technical Specifications

Range of motion (XY)75 μm
Range of motion (Z)
5 μm
Resolution (XY)0.15 nm
Resolution (Z)0.005 nm
Resonant Frequency (XY, Nano-MET2)1.4 kHz
Resonant Frequency (XY, Nano-MET3))1.0 kHz
Resonant Frequency (Z, Nano-MET3)13.5 kHz
Recommended max. load (horizontal)*100 g
Recommended max. load (vertical)*100g
Body MaterialAluminum
ControllerNano-Drive®
* Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.



Position Noise Spectrum

The Nano-MET Series demonstrates less than 4 picometers of position noise on X and Y and less than 400 femtometers of position noise on Z. Click below to enlarge and view the data for each axis.


X-Axis


Y-Axis


Z-Axis



Additional Information

Nano-MET2 Drawing (2 Axis)


Nano-MET3 Drawing (3 Axis)

Nano-MET Series Catalog Pages



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工商信息

企业名称

北京欧兰科技发展有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110108003886158

成立日期

2002-06-14

注册资本

50000

经营范围

技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;计算机技术培训;基础软件服务;应用软件服务;计算机系统服务;数据处理;计算机维修;销售计算机、软件及辅助设备、电子产品、机械设备、通讯设备、五金、交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、文化用品、体育用品、日用品。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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