X射线荧光光谱仪是基于X射线荧光光谱法而进行分析的一种常用的分析仪器。X射线(又称伦琴射线或X光)是一种波长范围在0.01~10nm之间的电磁辐射形式,是德国科学家伦琴在1895年进行阴极射线的研究时发现的一种新的射线"。随后,1896年法国科学教乔治发现X射线荧光。
1948年,Friedman和Briks应用盖革计数器研制出波长色散X射线荧光光谱仪,1969年美国海军实验室成功研制一台能量色散X射线荧光(EDXRF)光谱仪,自此,X射线荧光光谱法进入蓬勃发展阶段,特别是随着材料科学、电子技术和计算机的飞速发展,X射线荧光光谱仪分析技术及其软件的不断开发,使得EDXRFX射线荧光光谱仪发展逐步完善,无论是硬件还是软件的开发与波长色散X射线荧光(WDXRF)光谱仪基本同步。
特点:
1.是一种真正意义上的无损意义上的无损检测方法,具有不污染环境及低耗能等优点,被测样品在测量前后,无论其化学成分、重量、形态等都保持不变,特别适合在现场或在线分析,能实时获取多种数据。
2.分析速度快,由于一般无需进行样品预处理,甚至无需样品的制备,X射线荧光光谱仪可以对大量的样品进行快速预筛选分析。一般情况下,检测一个样品需要3min左右。
3.应用范围广,可以同时测定样品多种元素,元素可检测含量范围从10负六次方至,广泛用于地质、冶金、化工、材料、石油、医疗和考古等诸多领域,能量色散X射线荧光光谱仪已成为一种强有力的定性和半定量的分析测试技术。EDXRF仪器的发展,使X射线荧光光谱仪方法更有效,其应用领域更加广泛
4.X射线荧光光谱仪的不足之处是:分析精度相对较差,一般约为3%~5%对相当一些元素的测定灵敏度还不能让人满意
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