多点全线监测水质吸光度(254nm,1cm)≤0.001;
?产水水质(一机同时产出两种水质):
纯水水质:电导率≤1μs/cm25℃,水质符合国家实验室GB6682-2008规格Ⅲ级水标准;
超纯水水质:电阻率18.25MΩ•cm@25℃,水质优于国家实验室GB6682-2008规格Ⅰ级水标准,美
国ASTM、NCCLS、CAP标准;TOC<5ppb**;热源<0.001EU/ml;微生物<0.1cfu/ml;重金属含量(ppb.max)
<0.1ppb;可溶性硅(SiO2)<0.1ppb;吸光度(254nm,1cm)≤0.001;