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核心参数
产地类别： 进口
靶材材质： 金靶
靶材尺寸： φ58mm
控制方式： 程序化数字控制
样品仓尺寸： 直径120mm×高度120mm
样品台尺寸： 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm
溅射气体： 空气或氩气
（FESEM）样品表面导电处理的理想设备。FESEM制样要求导电镀层在保持连续均匀的条件下，镀层粒子的粒径尽量的小，进而不会影响样品表面精细微观结构的观察。为了得到高质量的镀层， 208HR提供了所需的溅射沉积条件。其中，208HR的真空系统配备了前级机械旋片式真空泵或者无油隔膜泵，二级真空为涡轮分子泵作来提高
样品室的真空度，从而使溅射镀层的粒度均匀细小，满足FESEM的制样要求。
此外，自动智能的控制系统，使得操作更加简单容易，并且有很好的重复性。
常用的溅射镀膜材料：
Pt/Pd: 多用途的高质量的非导电样品的溅射镀膜材料
Cr: 半导体材料和高分辨背散射电子成像的理想材料
Ir:高性能、粒径均一的镀膜材料
主要特点：
1、配合不同的靶材可溅射多种材质的薄膜
2、高精度的膜厚控制（选配MTM-20 膜厚监控仪）
3、多角度的旋转样品台支架，使得成膜更加均匀
4、多孔样品台支架
行星式旋转样品台
5、高度可变的真空腔，使得成膜速率在1.0nm/sec到0.002nm/sec之间可调。
6、0.2 - 0.005 mbar大范围的工作气压
7、紧凑、现代、桌式设计节省了空间
8、操作简单安全，抽气、溅射、放气智能一体化程序设计
Specifications | |
溅射磁头 Sputter head | 低电压平面磁控管Low voltage planar magnetron 快速方便靶材装卸Quick target change 环绕暗场保护Wrap-around dark-space shield 遮板调试靶材Shutter for target conditioning |
靶材 Targets | 标配：Cr, Pt/Pdor IR (Iridium coater) 选配： Au, Au/Pd, Cu, Ni, Pd, Pt, Ta, Ti and W |
溅射配套系统 Sputter supply | 微程序处理器Microprocessor based 安全联锁装置Safety interlock 不受真空度影响的恒电流控制系统Constantcurrentcontrol independent of vacuum 数显可选电流Digitally selectable current (20, 40, 60 or 80mA) |
样品台 Sample stage | 行星式0-90°手动旋转样品台Non-repetitive rotary, planetary motion with manual tilt 0-90° 转速可调Variable speed rotation 4样品台支架Crystal head 4 sample holders |
仪表 Analog metering | 真空度：大气压-0.001mbVacuum Atm - .001mb 工作电流：0-100mACurrent 0-100mA |
控制模式 Control method | 自动抽放气Automatic operation of gas purge and leak functions 全自动溅射操作Automatic process sequencing 可暂停数显时间设置 Digital timer(0-300 sec) with pause 自动放气 Automatic venting |
真空系统 Pumping System | 涡轮分子泵和旋片式机械真空泵 Turbo drag / rotary pump combination |
抽气速率 Pumping speed | 300 l/min at 0.1mb |
抽气时间 Pumpdown Time | 1 min to 1 x 10-3mb |
极限真空 Ultimate pressure | 1 x 10-5mb |
Ted Pella离子溅射仪208HR的工作原理介绍
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企业名称
北京中镜科仪技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108009808197
成立日期
2006-07-26
注册资本
500
经营范围
技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务、技术培训;计算机系统服务;数据处理;应用软件服务;仪器仪表维修;计算机维修;产品设计;电脑动画设计;工程和技术研究与试验发展;自然科学研究与试验发展;会议服务;承办展览展示活动;销售自行开发后的产品、计算机、软件及辅助设备、电子产品、通讯设备、仪器仪表、文化用品、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、五金交电、建筑材料;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京中镜科仪技术有限公司
公司地址
北京海淀区中关村北二条13号5号楼205
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