Dektak 8台阶式探针轮廓仪,结构紧凑,可提供很高的重复性和精度。的X–Y方向定位系统可移动到8 x 8 inch区域的任何位置。它不能测量台阶高度和表面纹理,还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak 8系统对于MEMS,纳米技术和半导体应用都非常方便。
台阶高度重复性: 7.5Å,1σ在1um标准台阶上
*大晶圆尺寸:200mm
*大样品厚度:25.4mm (1 in.)
每次扫描数据点:*多可达60,000数据点
扫描长度范围:标配*大50mm
垂直范围:标配262um;可选1mm
*大垂直分辨率:1Å (6.55微米垂直范围下)
1. 台阶高度测量重复性高
2. 是功能*为强大的探针轮廓仪,可*大限度的满足各种应用需要
3. 简单易用
4. 作为一款桌面型轮廓仪,扫描范围可达200mm
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企业名称
铂悦仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91310117698818989B
成立日期
2009-12-29
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的销售;仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;一类医疗器械、仪器仪表的维修;自有设备租赁(除金融租赁);广告设计、制作、利用自有媒体发布各类广告、电子商务(不得从事增值电信、金融业务);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
铂悦仪器(上海)有限公司
公司地址
上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A
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