核心参数
产地类别: 进口
测量原理: 电容式
测量范围: 二维表面轮廓测量 可选三维测量
精度: 0.5%
探针尖半径: 50nm 至 25μm
探针作用力: 0.3-15mg
扫描长度: 55um
台阶高度重复性: 5Å, 1σ 在 1μ m 台阶上
垂直方向分辨率: 最大 1Å ( 6.55μ m 垂直范围下)
测量样品最大尺寸: 300mm
探针式轮廓仪是一种用于化学、材料科学、电子与通信技术、化学工程领域的分析仪器。分析样品表面大尺寸三维形貌,探测样品厚度。
布鲁克公司的新型DektakXTL探针式轮廓仪系统可容纳多大350mm*350mm的样品,将Dektak有意的可重复性和再现性应用于大尺寸晶片及面板制造业。DektakXTL集成气体隔振装置和方便的交互锁装置使仪器在全封闭工作环境下运行,是当今要求苛刻的生产环境的理想之选。它的双摄像头设置使空间感增强,其高水平自动化可生产量。
探针式轮廓仪系统DektakXTL产品特性
一、Bruker公司的双摄像头控制系统
1.通过点击实时视频更快锁定到关注点
2.通过选择实时视频中的两个点快速定位样品(自动旋转使连线水平)
3.通过在实时视频中点击扫描起始和结束位置简化测量设置(教学)
二、自动化设置和操作
1.借助300毫米的自动化编码XY工作台以及360度旋转能力,编程控制无限制测量位置。
2.利用带图形识别功能的Vision64位产品软件减少使用中的定位偏差
3.将自定义用户提示以及其它元数据编入您的方案中,并存储到数据库内
三、方便的分析和数据采集
1.快速分析仪支持大部分常用分析方法,可轻松实现分析程序自动化
2.通过台阶检测功能将分析集中于复杂样品上感兴趣的特征
3.通过赋予每个测量点名称并自动记录到数据库来简化数据分析
4.Dektak在大样品制造业中的传奇性能
四、业界自动分析软件
新增软件功能使DektakXTL成为市面上易使用的探针式轮廓仪。系统使用的Vision64软件,与Bruker公司的光学轮廓仪完全兼容。Vision64软件可以进行样品任何位置测量、3D绘图以及借助数百个内置分析工具实现的高度定制表征方法。也可以使用VisionMicroform软件来测量曲率半径等形状。
五、探针式检测技术
图形识别功能可以尽量减少操作员误差并测量位置精度。在同一软件包内,以直观流程进行数据采集和2D、3D分析。每个系统都带有Vision软件许可证,可在装有Windows7操作系统的个人电脑上安装,用户可在电脑桌面上创建数据分析和报告。
DektakXTL拥有超过40年的探针经验和软件定制生产经验,符合现在和未来的严格的行业发展蓝图。
应用
一、晶片应用: 二、大型基板应用:
沉积薄膜(金属、有机物)的台阶高度 印刷电路板(凸起、台阶高度)
抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度 窗口涂层
蚀刻速率测定 晶片掩模
化学机械抛光(腐蚀,凹陷,弯曲) 晶片卡盘涂料
抛光板
三、玻璃基板及显示器应用: 四、柔性电子器件薄膜:
AMOLED 有机光电探测器
液晶屏研发的台阶步级高度测量 印于薄膜和玻璃上的有机薄膜
触控面板薄膜厚度测量 触摸屏铜迹线
太阳能涂层薄膜测量
布鲁克台阶仪Dektak XTL的工作原理介绍
台阶仪Dektak XTL的使用方法?
布鲁克Dektak XTL多少钱一台?
台阶仪Dektak XTL可以检测什么?
台阶仪Dektak XTL使用的注意事项?
布鲁克Dektak XTL的说明书有吗?
布鲁克台阶仪Dektak XTL的操作规程有吗?
布鲁克台阶仪Dektak XTL报价含票含运吗?
布鲁克Dektak XTL有现货吗?
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台阶仪在晶圆测试的应用
晶圆在制作电路的流程中,主要以光刻、蚀刻、沉积、研磨、抛光等工艺排列组合,在硅片上将电路层层叠加。Dektak-XT接触式表面轮廓仪能够用于每个工艺过程。
半导体
2022/09/14
企业名称
铂悦仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91310117698818989B
成立日期
2009-12-29
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的销售;仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;一类医疗器械、仪器仪表的维修;自有设备租赁(除金融租赁);广告设计、制作、利用自有媒体发布各类广告、电子商务(不得从事增值电信、金融业务);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
铂悦仪器(上海)有限公司
公司地址
上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A
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