单晶X射线衍射仪

Omega/Theta X射线衍射仪应用于SiC衬底的堆垛和质量评估，晶体取向和摇摆曲线快速测量

Omega/Theta X射线衍射仪是一款全自动的垂直三轴衍射仪，可使用Omega扫描和Theta扫描确定晶体的取向。

生产和质量控制

++ 测量速度: 每个样品<?5 s, 比传统 Theta 扫描的方法快200倍.

++ 转移技术: 在一个切片梁上可多至12个晶体

++ 多功能:  SiC (2H, 4H, 6H & 15R)和40多种其它材料的取向和多种类型测试

++ 高度准确性: 角精度为0.003°

++ 可靠性: 运行时间 >?99?。坚固耐用的工业级仪器，用于复杂的材料研究和质量控制。

++ 模块化设计: 各种配置可根据客户的需求进行定制

Omega-扫描方法

5s捕获晶体取向参数.

摇摆曲线测量

配置选择

??用于样品测量的激光扫描仪

??摄影照相机并进行平面和凹痕测定

?? 用于3D成像的样品旋转轴

?? 主通道切割单色仪

?? 用于方向映像的 X轴和Y轴运动

?? 方位设置和晶体取向标记

?? 使用Theta扫描法进行自动摇摆曲线测量

应用：氮化硅晶片、氮化硅外延片、蓝宝石晶片、SIC材料

应用

?? 在SiC, (Si, Ge)固溶体中测定晶格参数等 .

?? 涡轮叶片（单晶超级合金）的取向成像。

XRD操作软件

用户友好和*的操作:

?? 不同的操作模式

?? 操作员模式: 用户固定测量参数和*的工作流程

?? 管理员模式: 修改和创建新的方法并适应新的方法

??*的用户引导界面

?? 预定义和客户自定义方法

?? 自动显示测量结果和校正值以调整晶体方向

??成像选项

?? 导出和导入功能

技术指标

X射线源标准X射线管, 阳

检测器        闪烁技术器(单或者双 )

样品大小可达250 mm (10”)

样品架安装板的*旋转 (± 0.01°)

晶体准直器主要 Ge 通道切割准直仪

成像x-y 轴, 横向分辨率小于 0.1 mm

重现性< 1 弧分 (倾斜部件), < 0.1 (φ, ψ)

软件XRD操作软件

水冷流量 – 4l/min, *大压力 8 bar, T ≤ 30° C

PC 工作条件Windows7或者*新的NET Framework

电压要求208-240 V, 16 A 单相, 50-60 Hz

尺寸H 2035 mm x D 1186 mm x W 824 mm

重量约650 kg

认证根据ISO 9001 指南制造,符合CE