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产地类别: 进口
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涂层测厚仪SURFIX®系列
涂层测厚仪SURFIX®简易系列
便携式涂层测厚仪
产品概述
当一束光入射到薄膜表面时,薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉,干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关,反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度。
反射光谱干涉法是一种非接触式、无损的、快速的光学薄膜厚度测量技术。
测量范围: 1 nm - 1 mm
波长范围: 200 nm -8000 nm
光斑尺寸:2mum -3 um
产品特点:
a. 高的测量精度:0.01nm或0.01
b. 准确度:1nm或0.2
c. 稳定性:0.02nm或0.02
d. 强大的软件材料库,包含500多种材料的光学常数
e. 通过Modbus TCP或OPC协议,与其他设备联用
适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
标准配置中包含:
1. 主机(光谱仪,光源,电线)
2. 反射光纤
3. 样品台及光纤适配器
4. TFCompanion软件
5. 校准套装
6. 测试样品,200nm晶圆
多种型号可选,每个型号对应不同的测量范围:
测量n和k值,其厚度范围需在25纳米和5微米之间
广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中:
半导体晶圆,薄膜太阳能电池,液晶平板,触摸屛,光学镀膜,聚合物薄膜等
半导体制造:· 光刻胶 · 氧化物 · 氮化物
光学镀膜:· 硬涂层 · 抗反射涂层 · 滤波片
生物医学:· 聚对二甲苯 · 生物膜厚度 · 硝化纤维
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MProbe NIR薄膜测厚仪
型号:MProbe NIR
面议
企业名称
铂悦仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91310117698818989B
成立日期
2009-12-29
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的销售;仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;一类医疗器械、仪器仪表的维修;自有设备租赁(除金融租赁);广告设计、制作、利用自有媒体发布各类广告、电子商务(不得从事增值电信、金融业务);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
铂悦仪器(上海)有限公司
公司地址
上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A
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公司名称: 铂悦仪器(上海)有限公司
公司地址: 上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A 联系人: 铂悦仪器 邮编: 201612 联系电话: 400-801-8356
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