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400-801-8356
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设计, 片电阻不受针尖距离影响
产品特点：
多种型号以供选择:
自动上下片(Cassette to cassette, C2C)
室温至100°C 的测量(更高可选)
可添加并整合于多腔式的集束型架构设备(cluster tool)
行业应用：
亦可在连续式设备内加入四探针片电阻及光学膜厚测量, 适合薄膜太阳能(铜铟镓硒, CIGS)及平板显示行业
技术参数：
基材尺寸:
450mm晶圆 (样品台旋转)
370 x 470mm 长方形基底 (XY样品台)
连续式设备可以度身订做, 没有尺寸限制
片电阻测量适合金属薄膜、铜铟镓硒、非晶硅(硅)、碲化镉、钼、透明导电薄膜(AlZnO2)、掺杂之后的硅(硅)、硅锗及锗
0.1 – 100,000 单位面积奥姆值 (更高可选)
短时间重复性: 0.1 (21次连续测量同一点, 一个公差值)
长时间重复性.0.2 (每天21次连续测量同一点, 连续5 天, 一个公差值)
可*地整合于连续式(INLINE)的生产线内, 而收集的测量数据可自动送到SCADA系统
光学膜厚测量功能可选
测量光斑<1mm
波长: 380-1050nm
可测量膜厚: 15-50nm, *多可达250nm
短时间重复性: ~0.1nm
长时间重复性:: ~0.1nm
准确度: 0.4 or 0.1nm
企业名称
铂悦仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91310117698818989B
成立日期
2009-12-29
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的销售;仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;一类医疗器械、仪器仪表的维修;自有设备租赁(除金融租赁);广告设计、制作、利用自有媒体发布各类广告、电子商务(不得从事增值电信、金融业务);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
铂悦仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A
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公司名称： 铂悦仪器（上海）有限公司
公司地址： 上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A 联系人： 铂悦仪器 邮编： 201612 联系电话： 400-801-8356
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