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公司简介
资质荣誉
诚聘英才
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*红外干涉测量技术, 非接触式测量
产品特点:
适用于可让红外线通过的材料
硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………
衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)
平整度
厚度变化 (TTV)
沟槽深度
过孔尺寸、深度、侧壁角度
粗糙度
薄膜厚度
环氧树脂厚度
衬底翘曲度
晶圆凸点高度(bump height)
MEMS 薄膜测量
TSV 深度、侧壁角度...
技术参数:
测量方式: 红外干涉(非接触式)
样本尺寸: 50、75、100、200、300 mm
测量厚度: 30 — 780 μm (单探头)
3 mm (双探头总厚度测量)
扫瞄方式: 半自动及全自动型号,
另2D/3D扫瞄(Mapping)可选
衬底厚度测量: TTV、平均值、*小值、*大值、公差...
粗糙度: 20 — 1000? (RMS)
重复性: 0.1 μm (1 sigma)单探头*
0.8 μm (1 sigma)双探头*
分辨率: 10 nm
设备尺寸:
413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)
413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H)
重量: 500 lbs
电源 : 110V/220VAC 真空: 100 mm Hg
*样本表面光滑(一般粗糙度小于0.1μm RMS)
** 150μm厚硅片(没图案、双面抛光并没有掺杂)
企业名称
铂悦仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91310117698818989B
成立日期
2009-12-29
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的销售;仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;一类医疗器械、仪器仪表的维修;自有设备租赁(除金融租赁);广告设计、制作、利用自有媒体发布各类广告、电子商务(不得从事增值电信、金融业务);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
铂悦仪器(上海)有限公司
公司地址
上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A
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公司名称: 铂悦仪器(上海)有限公司
公司地址: 上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A 联系人: 铂悦仪器 邮编: 201612 联系电话: 400-801-8356
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