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台式等离子蚀刻机/灰化系统，适用于多种多样的样品材料和工艺气体。
Plasma Prep III是Plasma Prep系列产品的*新成员。该系统加入了固态技术，包括一体式真空计。该系统采用低成本设计，比如只设单一气体进口。添加选配的工艺控制模块可以扩展系统的功能，实现多种气体*混合，并且当工艺完成时，可以自动关闭系统。
典型应用领域：
? 电子显微观察样品制备
? 替代湿法化学蚀刻
? 去除光阻残留物
? 去除有机污染物
? 孔眼清洗
? 石棉分析
? 失效分析
系统规格：
? 13.56 MHz射频等离子体(RF plasma)
? 桶式设计反应室
? 功率可调节，从1到100瓦
? 一体式真空计
? 尺寸：12″宽×15″深× 10.5″高
（31 cm宽×38 cm深×27 cm高）
? 反应室尺寸：4″直径×6″深
? 获得CE认证，符合RoHS
系统包括：
? Plasma Prep III
? 派热克斯玻璃或石英反应室
? 真空软管（NW 16）
? 电线
场所要求：
? 工艺气体：5磅/平方英寸（表压）
? 真空泵
? 电力：100 V to 240 V, 50/60 Hz
企业名称
铂悦仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91310117698818989B
成立日期
2009-12-29
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的销售;仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;一类医疗器械、仪器仪表的维修;自有设备租赁(除金融租赁);广告设计、制作、利用自有媒体发布各类广告、电子商务(不得从事增值电信、金融业务);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
铂悦仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A
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公司名称： 铂悦仪器（上海）有限公司
公司地址： 上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A 联系人： 铂悦仪器 邮编： 201612 联系电话： 400-801-8356
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