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核心参数
产地类别： 进口
椭偏仪SpecEL
SpecEL-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEL通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。
集成的*测量系统
SpecEL-由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成， 配有一个32位操作系统的PC。该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜， 并且折射率测量可达0.005
SpecE1 软件及Recipe 配置文件
通过SpecEL 软件，您可以配置及存贮实验设计方法用于1 步分析。创建recipe后，可以选择recipe 来执行实验。SpecEL 软件截图显示的Psi及Delta 值可以用来计算厚度，折射率及吸光率。
特点
-- 膜厚测量精度0.1 nm，分辨率可达1nm
-- 可以测量*多25 层膜
-- 单层膜可以测量*大厚度10um
-- 光谱范围 300-1000nm
-- 标准测量点尺寸0.4mmx1.2mm
-- 适合测量平面，半透明的样品，例如晶圆，玻璃，胶片和金属薄片
-- 提供3D 绘图附件，参考晶圆等选项—可以定制方案
-- 配套软件提供了建模功能和测量模型，可以减少繁琐的重复测量。还可以提供用于膜厚绘图的测量软件。
厚度范围：1nm-10μm
分辨率：0.1nm
测量速度：7-13秒
样品厚度：5mm（*大）
光学分辨率：1.0nm
射束直径：400-1200μm
角度：70°
企业名称
铂悦仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91310117698818989B
成立日期
2009-12-29
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的销售;仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;一类医疗器械、仪器仪表的维修;自有设备租赁(除金融租赁);广告设计、制作、利用自有媒体发布各类广告、电子商务(不得从事增值电信、金融业务);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
铂悦仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A
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公司地址： 上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A 联系人： 铂悦仪器 邮编： 201612 联系电话： 400-801-8356
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