2018年11月,TESCAN先后发布了三款扫描电子显微镜新品:S9000G超高分辨型镓离子源双束FIB系统,S9000超高分辨型场发射扫描电镜,S8000X高分辨型氙等离子源双束FIB系统!作为全球电子显微镜及聚焦离子束等设备的主要供应商,TESCAN一直致力于新产品、新技术的创新和研发,以满足客户需求。
截至目前,TESCAN已于今年发布了5款扫描电子显微镜新品,TESCAN第四代电子显微镜TESCAN S8000系列和TESCAN S9000系列产品线已发布齐全。
其中包括:TESCAN S8000高分辨型热场发射扫描电镜,S8000G高分辨型Ga-FIB,S8000X高分辨型 Xe Plasma-FIB;TESCAN S9000超高分辨型热场发射扫描电镜,S9000G超高分辨型Ga-FIB,S9000X超高分辨型Xe Plasma-FIB。
TESCAN超高分辨型Ga FIB-SEM新品 S9000G
TESCAN超高分辨型FE-SEM新品 S9000
TESCAN高分辨型Xe Plasma-FIB新品 S8000X
TESCAN第四代电子显微镜S9000系列是TESCAN最新推出的超高分辨型电子显微镜系列,包括三款电子显微镜产品,而此次发布的是S9000超高分辨型FE-SEM和 S9000X 超高分辨型Xe Plasma-FIB。
S9000系列在软硬件方面均经过全新设计,配备了TESCAN最新的Triglav™电子镜筒技术和Orage™离子镜筒技术,并提供Ga离子源和Xe等离子源多种离子源可供选择。TESCAN第四代电镜还配置了全新立体设计的Essence™ 计算机处理系统,具有非常便捷的操作界面和面向应用流程的可定制化软件布局;针对FIB加工和电子束光刻应用,还提供先进的DrawBeam™ 功能。
TESCAN S9000超高分辨型FE-SEM配备Triglav™电子镜筒,具有优化的透镜内探测器系统和高性能电子信号过滤和收集能力。S9000系列还扩展了检测能力,能够采集能量过滤后的轴向背散射电子信号,可以选择性收集低损耗背散射电子,获得更好的对比度和表面灵敏度。
TESCAN S9000G是一款超高分辨型的镓离子源FIB-SEM系统,适用于超薄TEM样品制备和其它具有挑战性的纳米加工任务。S9000G 配置了Orage™ FIB镜筒,不仅为纳米加工提供了最佳的精度,高达100 nA的大离子束流,还可以对生物样品和材料进行指定位置、大体积的三维逐层扫描,图像具有更出色的对比度。得益于低电压下离子束的出色分辨率和性能,TESCAN S9000G可以快速获得最佳质量的小于20nm的超薄TEM样品。
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