目前先进的FIB系统为双束,即离子束和电子束(FIB-SEM)系统,也就是在SEM微观成像实时观察下,用离子束进行微纳加工,具有离子注入、离子溅射、TEM试样制备等多种功能。
而刚刚在中国科学院 · 物理研究所落下帷幕的“2018年第九届全国FIB技术及学术交流研讨会”是国内FIB一年一度的盛会,自2010年起已连续成功举办了八届。
2018年第九届全国FIB研讨会现场
本届全国FIB研讨会由中国电子显微学会FIB专业委员会主办,举办地点在北京中科院物理所D楼,研讨会邀请了百余位相关领域的专家、研究者和设备厂商就聚焦离子束技术的基础和应用研究等最新进展进行了深度交流。作为全球电子显微镜及聚焦离子束等相关设备的主要供应商,TESCAN受邀参加。
在研讨会上,TESCAN产品经理Ondrej NEZHYBA向大家展示了TESCAN最新的双束FIB新品S9000X Xe plasma FIB-SEM系统。
Ondrej NEZHYBA介绍TESCAN新品S9000X
TESCAN S9000X是TESCAN于今天8月份发布的氙等离子源的双束FIB,是一个强大的双束电镜分析应用平台,配备超快速的氙等离子源,具有极高的精度和极高的效率。S9000X配备了TESCAN最新一代Triglav™镜筒的探测器系统和iFIB+™离子镜筒,除具有非常优异的表面灵敏度和对比度外,还大幅提升了大体积样品微加工和3D微量分析的能力。
TESCAN双束新品S9000X Xe plasma FIB-SEM
“原位应用和分析扩展能力一直都是TESCAN电子显微镜和聚焦离子束系统的一个强力优势,S9000X不仅仅是一个可实现超快速微纳加工的双束平台,更是一个强大的综合微观分析平台。”Ondrej博士在报告中介绍到,S9000X除了可以实现电镜常规配置和应用外,还可以与Raman、TOF-SIMS一体化配置,这也使得S9000X一经推出便很快受到市场欢迎。
功能强大的微纳加工和综合微观分析平台
Ondrej博士高兴的向大家提到,“在TESCAN S9000X发布后不久,清华大学材料科学研究所中心实验室就采购了一台配置有Raman和TOF-SIMS的S9000X Xe Plasma FIB系统。”截至目前,国内已有超过6套TESCAN电镜-拉曼联用系统和5套TESCAN双束FIB-TOF-SIMS联用系统。
清华大学采购了一台配置Raman,TOF-SIMS的S9000X
TESCAN独有的解决方案能迅速受到市场的认可和欢迎,这也充分体现了TESCAN显微镜系统在微区综合分析能力上的强大优势。基于TESCAN产品“All-In-One”的设计理念,用户可以根据需要,非常方便地加配原子力显微镜、EBL、EBIC、CL及原位的加热台、冷台、拉伸台等探测器和分析拓展附件,为科研创造更多可能!
感谢各位老师对TESCAN的认可和支持,期待2019年在美丽的金陵古都与大家再次相聚!
期待 2019年全国 FIB大会再聚!
更多内容请搜索关注“TESCAN公司”中国官方微信。
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