TESCAN LYRA3 FIB-SEM with integrated TOF-SIMS analyser

用光学联用模块实现定点位置加工和TEM样品制备

双束电镜是在普通扫描电镜的基础上增加了离子枪，除了可以实现普通扫描电镜的功能外，还可以进行特定区域的加工。尤其在高校和科研院所，双束电镜最大的作用是给TEM进行高质量的样品制备。 利用双束电镜，用户可以根据需要在特定的区域进行可控的样品制备，这相对于传统的TEM样品制备方法有了很大的进步。但是一般双束电镜在特定的区域进行样品加工或TEM样品制备仍然是根据形貌图像来进行定位，现在随着科研水平的不断提高，仅通过形貌来进行定位已经越来越不能满足有些科研的要求。很多用户需要在特定的取向，或者相（相界）、晶粒（晶界）、应力部分、满足特定织构条件等区域进行样品的加工或者TEM样品制备，而这些要求用传统的双束电镜根据形貌定位则难以实现。用户只能随机的进行多个区域的加工，然后在TEM中进行倾转来满足一些需要。这样既费时费力，而且时常也达不到预期的效果。

钨灯丝扫描电镜对非导电试样的观察手段——低加速电压

非导电样品绝缘电阻大，在电子束的连续扫描下，样品表面逐渐累积负电荷，形成相当高的负电场，排斥入射电子，二次电子发射不稳定，并随机偏转二次电子轨迹，影响探测器接受，造成图像晃动、亮度突变、出现无规则的明暗条纹，此种现象称为“荷电效应”，也称为“充电效应”。 采用低加速电压是抑制荷电效应的有效方法之一，当入射样品的电子数与样品发射的电子数相等，即达到电荷平衡时，就可以避免或最大限度减弱荷电效应。

为什么特殊曲面设计的CL探测器更有优势

阴极荧光(CL)是扫描电镜中的一个非常重要的信号，其灵敏度可达到ppm级别。很多物质，如矿物、半导体、金属氧化物、稀土元素，甚至有机物和生物样本都有CL信号，因此CL的应用领域也越来越广。 不过CL信号属于电磁波信号，不受电磁场的作用，CL探测器的采集原理和电子探测器相差甚远。通常CL探测器都是类似BSE探测器，位于极靴下方，将CL信号直接反射进入探测器，如图1。因此，CL探测器反射面的设计对最终有多少CL信号能被采集到有决定性的影响。

四通道全色彩色二合一阴极荧光

阴极荧光是由加速电子撞击材料表面激发出的光子信号。阴极荧光信号的收集为SEM提供了许多重要信息，例如，半导体掺杂，缺陷和晶界的信息，地质样品上成带，微裂痕和过成长现象。全色CL具有更高的灵敏度，而彩色CL则揭示更多的样品结构和成分信息。