核心参数:
DigiSTAR P2010 数字化旋进电子衍射控制器
• 适合于任意 200-300kV 透射电镜 ;
• 电子束的旋进和扫描不依赖于电镜STEM附件,有无STEM附件均可; 安装时可选择工作于 TEM 或 STEM 模式;
• 电子束旋进角范围:0 ~ 2.5° ;
• 电子束旋进频率 : 场发射 TEM 典型值为 100/200Hz;安装Merlin 直接电子探测器后可提高到≥ 300Hz(取决于 TEM);
• 最小束斑 ≤ 2nm (FEG-TEM);平行光模式和纳米束模式;
• 电子束的旋进和去扫描控制可以单独控制和微调 ;
• 电子束旋进过程中可以通过控制器独立实现电子束的微调和对中;
• 旋进电子衍射控制器关闭后对电镜的所有参数均不产生影响。
TopSPIN 旋进电子衍射扫描和数据采集软件平台
• 使用所支持的光学相机和 / 或直接电子探测器实现虚拟 STEM/ 明场像 / 暗场像;
• 多种扫描方式,如点、线、面;
• 基本图像处理功能,如亮度直方图、Gama 调整、自动数据转移和图像输出等;
• 集成旋进电子衍射工作模式;
• 电子束旋进控制和自动合轴对中;
• 相机常数辅助校准,畸变辅助矫正;
• 电子束漂移矫正;
• 为 ASTAR 优化的数据采集工作流程。
ASTAR 纳米晶体取向和晶相分布分析软件
• 电子束最小扫描步长:≤ 1 nm (FEG TEM);
• 空间分辨率 : ≤ 2 nm (FEG TEM);
• 晶体取向分辨率 ≤ 1° ;
• 使用 Merlin 1R 直接电子探测器 , 衍射花样采集速度可达 150 ~
≥ 400 幅 / 秒(取决于 TEM);
• 电子衍射花样模版生成系统包含所有晶系 ;
• 电子衍射花样的识别和指标化全自动完成 ;
• 自动完成晶体取向图、晶相分布图;
• 虚拟明场像、虚拟暗场像 ( 可选一个或多个衍射斑点 );
• 孪晶、晶界、晶粒度、非晶化区域分析功能。
STRAIN 纳米晶体应变分析软件
• 空间分辨率≤ 3nm;
• 应变分析精度≤ ±0.02%;
• 在旋进电子衍射条件下快速实现点、线、面分析。
ADT-3D 电子衍射花样三维重构分析软件
• 对序列旋进电子衍射花样 ( 样品倾斜范围 +/-40°或更大,倾斜步长 1° ) 进行三维倒易空间重构,确定晶体的单胞参数 ( 精度 2~3%);
• 对特殊晶体结构 ( 如孪晶和位错 ) 进行分析;
• 对每个衍射斑点自动指标化并提取出其强度,然后使用标准的晶体学软件 ( 本系统未包含这些软件 ) 进行晶体学分析。
产品介绍:
旋进电子衍射原理示意图
DigiSTAR/MerlinEM-1R 应用实例
样品:Ti 合金。从左至右:虚拟明场像,相分布图 ( 红色α 相、蓝色 β 相 ),晶体取向图
样品:Al-9nm/TiN-1nm 多层膜结构。
上:ASTAR 取向图,红色层为 Al 层,绿色层为1nm TiN 层。
下:ASTAR 取向图,1nm TiN 标示为黑色带。
Si 基底上纳米 SiGe 层的应变分析