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1. 采用最新的ICP-MS技术,证明Type 1超纯水中实际没有任何非气体元素,检出限大多在1纳克/升(ppt)以下。这一污染物含量是低于所有其他已测试溶剂的量级。 2. 采用吹扫捕集GC-MS和热吸附GC-MS测得的Type 1超纯水中很低的挥发性和半挥发性有机杂质的含量。通常情况下,杂质含量均低于挥发性有机化合物<0.05微克/升和半挥发性有机化合物<0.025微克/升的检出限。

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