2024/08/13 17:10
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产品配置单:
上海伯东Pfeiffer ACP 15/28/40 真空泵
型号: ACP 15, ACP 28, ACP40
产地: 德国
品牌: 普发真空
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上海伯东普发分子泵 HiPace 10-300
型号: HiPace 10-300
产地: 德国
品牌: 普发真空
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方案详情:
分子束外延 MBE 是一种晶体生长技术, 首先将待成长的芯片放置在超高真空腔体中(~10-10Torr), 和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中, 当炉温升至一定温度时, 炉中的材料会以原子束或分子束的形式蒸发出来, 此时基板也被加热至一适当的温度, 分子束射至基板时, 就会与基板表面的原子结合而生长出极薄的, 可薄至单原子层水平, 单晶体和几种物质交替的超晶格结构.
分子束外延 MBE系统需要在超高真空环境中进行, 对真空度要求及其高, 真空可到 2×10-10 torr, 同时需要分子泵低振动, 低噪音, 清洁无油确保超高真空的稳定性已保证晶格的生长和后期的探测分析.
分子束外延设备在生长二维材料以及拓扑材料, 氧化物方面都有不错的性能. 例如:GaAs/ InP和GaSb外延, HgCdTe外延/ GaN/ InN和AlN外延/ Ⅱ-Ⅵ族外延/ SiGe外延/ Si/金属/氧化物外延等
上海伯东Pfeiffer 真空泵用于 MBE 的客户案例
某真空系统集成商搭建的MBE设备, 由用户方采购 Pfeiffer 真空泵 HiPace 系列涡轮分子泵和 ACP干泵用于分子束外延系统,
可以生长小样品及最大6“样品 SiC及 PBN钨丝等加热元件, 温度可以加到900度, 如果两寸以上样品可以到1100度.
腔体采有SS316材质, 真空可达到10-10Torr, 使用伯东 Pfeiffer 真空泵 HiPace分子泵及配合使用其他品牌离子泵, 可配备晶振, 束流监控器, 高能电子枪以及监控软件.
可配备固体源/ 气体源/ALD阀/ 等离子体增强型束源炉及电子回旋共振束源炉
标准RHEED系统(实时外延监测)
自动化控制软件
分子束外延超高真空系统用伯东 Pfeiffer 真空泵分子泵
伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 700
接口: DN 160 CF-F
极限真空: < 5X10-10 mbar
氮气压缩比: > 1X1011
抽速@N2: 685 l/s
伯东 Pfeiffer 真空泵 ACP28 多级罗茨泵
接口: DN25 ISO-KF
抽速: 27m3/h
上海伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东
上海伯东版权所有, 翻拷必究!
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Hipace 700 分子泵用于医用重离子加速器
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机械设备
2024/08/13
Hicube 80 classic 用于科研 OEM 高温真空炉系统
真空炉, 即在炉腔这一特定空间内利用真空系统将炉腔内部分物质排出, 使炉腔内压强小于一个标准大气压, 炉腔内空间从而实现负空状态. 上海伯东某科研客户研究方向是特种高温合金, 材料需要在1000℃的环境进行熔合, 在这个温度下空气会影响金属原料熔合的品质, 客户考虑用分子泵来保证炉子的真空度不低于 1E-4Pa, 经过多次技术交流, 客户选择上海伯东 Pfeiffer Hicube 80 classic 分子泵组搭配全量程真空规 PKR 251 来解决需求. 该中型分子泵组在科研、小型工业生产领域应用广泛.
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2024/08/13
上海伯东 Pfeiffer 旋片真空泵在造纸业中的应用
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2024/08/13
Hicube 80 Eco分子泵组用于搭配低温阻抗测试仪
上海伯东某科研客户需要搭配一套低温阻抗测试系统, 系统在充入低温气体前,需要把腔体真空度抽至1E-3Pa,系统腔体体积为10L左右, 并稳定在这个真空度保持30min。经过计算,推荐老师采用Hipace 80 分子泵搭配MVP 015-2隔膜泵的分子泵组Hicube 80 Eco,这套分子泵组可以保证系统真空度不低于1E-3Pa。
机械设备
2024/08/13