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氦质谱检漏仪电子束光刻机检漏
2022/08/31 15:07
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方案摘要：
产品配置单：
上海伯东销售维修普发便携式检漏仪 ASM 310
型号： ASM 310
产地： 德国
品牌： 普发真空
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方案详情：
氦质谱检漏仪电子束光刻机检漏
上海伯东客户某光刻机生产商, 生产的电子束光刻机 Electron Beam Lithography System 最大能容纳 300mmφ 的晶圆片和 6英寸的掩模版, 适合纳米压印, 光子器件, 通信设备等多个领域的研发及生产. 经过伯东推荐采购氦质谱检漏仪 ASM 310 用于电子束光刻机腔体检漏.
电子束光刻机腔体需要检漏
电子束光刻机内部腔体使用分子泵, 离子泵抽真空, 通过全量程真空计 PKR 251 监测真空度, 腔体需要维持真空度在 10-9 Pa 至 10-11 Pa, 如果腔体有漏导致真空度不够, 会影响设备性能, 因此需要对整个腔体进行泄漏检测.
电子束光刻机腔体检漏方法
上海伯东推荐客户使用前级泵为干泵的便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 进行泄漏检测.
当真空度达到 15 hPa 时, 在腔体周围怀疑有漏的位置吹扫一定量的氦气, 同时启动便携式检漏仪 ASM 310 开始检漏, 真空模式下, 设置漏率值 1x10-13 Pa m3/s, 若有检测到实际漏率大于设定值, 检漏仪会报警提醒同时操作界面显示漏率值, 从而可以定位定量判断腔体泄漏位置, 完成整个腔体的泄漏检测.
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪最轻便紧凑的产品
对氦气的最小检测漏率
真空模式 5E-13 Pa m3/s
吸枪模式 1E-8 Pa m3/s
对氦气的抽气速度 1.1 l/s
鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解电子束光刻机检漏, 请参考以下联络方式
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