氦质谱检漏仪和真空泵组应用于超导量子芯片装置中

2022/08/31 14:50

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应用领域：

半导体

发布时间：

2022/08/31

检测样品：

其他

检测项目：

超导量子芯片装置

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参考标准：

方案摘要：

氦质谱检漏仪和真空泵组应用于超导量子芯片装置中前段时间, 浙江大学, 中科院物理所, 中科院自动化所, 北京计算科学研究中心等国内单位组成的团队通力合作, 开发出具有 20个超导量子比特的量子芯片, 并成功操控其实现全局纠缠, 刷新了固态量子器件中生成纠缠态的量子比特数目的世界记录.

产品配置单：

分析仪器

销售维修普发氦质谱检漏仪 ASM 390

型号： ASM 390,ASM 392

产地：法国

品牌：普发真空

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方案详情：

氦质谱检漏仪和真空泵组应用于超导量子芯片装置中
前段时间, 浙江大学, 中科院物理所, 中科院自动化所, 北京计算科学研究中心等国内单位组成的团队通力合作, 开发出具有 20个超导量子比特的量子芯片, 并成功操控其实现全局纠缠, 刷新了固态量子器件中生成纠缠态的量子比特数目的世界记录.

量子加速性在计算中的实现主要基于量子特性如叠加性和纠缠性, 而构建量子计算机的备选系统包括光子, 离子阱, 量子点和超导约瑟夫森结等. 相比于其他量子系统, 超导系统与环境的耦合较强, 拥有其他系统无法比拟的可控制性和可扩展能力, 更有希望实现能大规模集成的量子计算芯片.

基于超导约瑟夫森结的量子芯片作为实现量子加速能力的物理载体, 对实现超导量子比特的多体纠缠尤其重要.

作为专业人都知道, 相比于其他量子系统, 超导量子芯片系统与环境的耦合较强, 量子芯片超导系统运行需要高真空环境. 在搭建超导量子芯片系统的环境时, 保证快速抽取真空, 实现高, 超高真空环境和运行环境的腔体无泄漏是非常关键的. 超导系统需要高真空环境, 腔室是否有泄露, 是否有内部材料的放气对实现高真空及超高真空很关键, 在超导装置中快速抽真空和高精度检漏不可缺少. 上海伯东提供德国 Pfeiffer HiCube 700 Pro 高性能分子泵组和移动式半导体级别的 ASM 390 氦质谱检漏仪, 一方面对超导系统提供高效稳定的高真空环境, 另一方面辅助检漏仪将系统真空抽到检漏压力, 便于检漏仪的快速检测.

检漏仪的吸枪模式 ( 正压检漏 ) 和真空模式 ( 负压检漏 ) 两种检漏模式也为客户实际检漏提供可选方案, 对于大腔室的泄露检测, 通过泵抽达到检测真空需要更久时间, 用正压检漏 ( 吸枪模式) 可以对腔室内部充入示踪氦气, 外部用吸枪检漏会更快捷.

上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 390
ASM 390 是针对大型检漏部件设计研发, 检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 高达 35m3/h 的大抽速干泵, 可以加速泄漏检测流程, 降低生产设备的停机时间 ASM 390, ASM 392 对氦气的快速抽空能力和较短的响应时间使其成为同类型检漏仪中的佼佼者

ASM 390

最小检测漏率 ( 真空模式 ) : 1*10-12 mbar.l/s
最小检测漏率 ( 吸枪模式 ) : 1*10-8 mbar.l/s
对氦气的抽速: 10 L/S
前级泵抽速: 35m3/h
最大入口测试压力: 20mbar
入口法兰: DN40 ISO-KF

真空泵组 HiCube 700 Pro
伯东普发 Pfeiffer 真空泵 HiCube 700 Pro 泵组设备适用于所有高真空应用, 与具有最高 685 l/s 泵组抽空能力和干式前级泵一起使用. 伯东普发 Pfeiffer真空泵 HiCube Pro 的特点是极快抽气时间, 方便移动. 可选前级泵包括我们伯东普发 Pfeiffer 真空泵 DuoLine, Pascal 系列旋片式真空泵和多级罗茨泵 ACP 系列.

涡轮分子泵组